TiN涂层中表面裂纹形成机理研究-机械工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 湘潭大学 学位论文原创性声明 本人郑重声明：所呈交的论文是本人在导师的指导下独立进行研究所取 得的研究成果。除了文中特别加以标注引用的内容外，本论文不包含任何其 他个人或集体已经发表或撰写的成果作品。对本文的研究做出重要贡献的个 人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律后果 由本人承担。 作者签名：日期： 年 月 日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，同意学 校保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查 阅和借阅。本人授权湘潭大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关 数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位 论文。 涉密论文按学校规定处理。 作者签名：日期： 年 月 日 导师签名：日期： 年 月 日 万方数据 万方数据 摘 要 随着科学技术的发展，表面涂层技术在工程中的应用越来越广泛。 TiN 涂层 由于其具有耐磨、耐热、耐腐蚀等优异的性能，被广泛应用于刀具、轴承、齿轮 等重要元件的接触表面，能有效地改善元件表面的摩擦磨损性能，延长元件的使 用寿命，满足现代装备的性能要求。但是，涂层结构在交变载荷、摩擦滑动接触 和高温等条件下长期工作，通常其表面会产生裂纹，随着裂纹的扩展从而导致涂 层的失效，这将对涂层结构的使用产生严重影响。因此，探索涂层表面裂纹形成 机理的研究具有重要的意义。 为了揭示滑动摩擦接触条件下 TiN 涂层表面裂纹的形成机理，本文主要完成 了以下工作： （1）对 TiN 涂层进行了划痕试验以及对划痕表面形貌进行了 SEM 观察和能 谱分析。结果表明在划痕表面产生了平均间距约为 5.12μm 的弧型裂纹，划痕实验 过程中压头并未压入基底；对 TiN 涂层进行了压痕裂纹实验，测得 TiN 涂层的硬 度约为 10.17GPa，断裂韧度约为 3.30MPa·m1/2。 （2）采用三维有限元方法对划痕过程进行了模拟，模拟结果表明 了涂层结构 中应力分布的特点，结合涂层中应力分布的特点对涂层中表面裂纹可能产生的原 因进行了预测分析。 （3）采用二维扩展有限元方法（XFEM）对划痕过程中涂层的裂纹产生进行 了模拟，模拟结果表明涂层中表面及界面裂纹主要是最大拉应力引起的第一型裂 纹；涂层亚表面裂纹是由拉应力和剪切应力共同引起的复合型裂纹。表面裂纹的 形成方式有三种：第一种方式是首先在涂层界面产生裂纹，随着裂纹沿着界面和 厚度方向扩展形成表面裂纹；第二种方式是直接在涂层表面形成表面裂纹；第三 种方式是裂纹首先在涂层亚表面形成，然后沿着厚度方向朝着表面扩展形成表面 裂纹。模拟中发现在表面和界面首先产生裂纹的数量比亚表面产生裂纹的数量更 多，随着裂纹的扩展和融合将导致涂层的剥落。 （4）采用三维扩展有限元方法（XFEM）对划痕过程中涂层的裂纹产生进行 了模拟，模拟结果表明涂层中表面裂纹和界面裂纹主要是最大拉应力引起的第一 型裂纹。表面裂纹的形成方式有两种：第一种方式是首先在涂层界面产生裂纹， 随着裂纹沿着界面和厚度方向扩展形成表面裂纹；第二种方式是直接在涂层表面 形成表面裂纹。 以上这些工作将为研究涂层的失效提供依据。 关键词： TiN 涂层 表面裂纹 划 痕 试 验 应力分析 扩展有限元法 I TiN TiN 涂层表面裂纹形成机理研究 Abstract With the development of science and technology, surface coating technology has been increasingly applied in Engineering. Because of its good performance such as wear-resistance, heat-resistance and corrosion-resistance, TiN coatings are widely applied to the contact surface of cutters, bearings and gears, and it can effectively alleviate the friction of component surface, prolong their service time and mee t the performance requirement of modern equipments. However, when coating structures are operated at a high temperature, and bear alternating load ing under frictionaly