VCSEL激光器封帽机的开发及其封装工艺研究-材料加工工程专业论文.docxVIP

华中科技大学硕士学位论 华 中 科 技 大 学 硕 士 学 位 论 文 I I 摘 要 垂直腔面发射激光器（VCSEL）由于高密度、高传输率平行光传输、可批量生 产，成本低的优点，使其在光互连、并行光信息处理等领域和波分复用（WDM）光 纤通信等领域得到了广泛的应用。封帽是 VCSEL 激光器生产中非常重要的一个环 节，对产品的气密性和机械性能有很大的影响，进而影响产品的质量和可靠性。目 前国内的封帽机，体积外形巨大，而且控制系统比较落后。因此开发一款数字控制， 小型化的封帽机具有很大的实际意义。 本课题的主要工作就是开发出可适用于 1mm-10mm 的能满足垂直腔面发射激光 器的 TO（Transistor Outline）封装要求的小型封帽机。此封帽机以 51 单片机为核心， 基于电容储能焊的原理，再配上相应的电路以及机械控制部分，抽真空部分和氮气 保护舱，构成一套完整的封帽系统。能够在满足小型化，数字化的基础上满足实际 生产的需要，并且在此基础上，拥有安全保护系统和较高的生产效率。 封帽机的设计与研究过程涉及材料、机械、电子、计算机、控制以及工艺研究 等方面。整个封帽机分为外形和结构设计、硬件电路设计、系统软件设计等几个部 分，其中又细分为焊机结构设计、机械运动设计、氮气舱外形设计以及电路部分设 计、软件系统设计和气路系统设计等小模块。各个系统设计完整，能够协同工作。 实现了控制系统的全数字化，而且具有操作简单，充放电稳定等优点。此外还针对 封帽机的工艺参数选择问题，有针对性的做了 VCSEL 激光器封帽的工艺试验，定性 的对不同参数下的封帽质量进行了分析，并且找出了最优化参数，可供实际生产人 员参考和评价。 关键词：封帽、储能焊机、单片机、最佳参数 Abstract Vertical cavity surface emitting laser (VCSEL) because of its advantages of high density, high transfer rate parallel optical transmission, can be mass production, low cost, makes it widely used in optical interconnection, parallel optical information processing and wavelength division multiplexing (WDM) optical communications and other fields. Cap-sealing is very important to the production of VCSEL laser, which have a great impact on the air-tightness and mechanical properties of the products, hereby affecting the quality and reliability. Nowadays, the cap-sealing machine of our country is huge in shape and most of them have relatively backward control system. Therefore the development of a digital control, closure of small cap machine has great practical significance. The main work of this project is to develop a small cap-sealing machine which can meet the requirements of the TO(Transistor Outline) packages of 1mm-10mm vertical cavity surface emitting laser. This cap-sealing machine use 51 microcontroller as its central process unit and based on the principle of capacitor discharge welding, matched with the corresponding control circuit and mechanical parts, vacuum parts and nitrogen tanks to form a complete seal cap system.