ZnO基纳米材料的制备及其气敏性能 研究-凝聚态物理专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 原创性声明 本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下，独立进行研 究所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人 或集体已经发表或撰写过的科研成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集 体，均已在文中以明确方式标明。本声明的法律责任由本人承担。 学位论文作者： 日期： 年 月 日 学位论文使用授权声明 本人在导师指导下完成的论文及相关的职务作品，知识产权归属郑州大学。 根据郑州大学有关保留、使用期学位论文的规定，同意学校保留或向国家有关 部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅；本人授权郑 州大学可以将本学位论文的全部或部分编入有关数据库进行检索，可以采用影 印、缩印或者其他复制手段保存论文和汇编本学位论文。本人离校后发表、使 用学位论文或与该学位论文直接相关的学术论文或成果时，第一署名单位仍然 为郑州大学。保密论文在解密后应遵守此规定。 学位论文作者： 日期： 年 月 摘要 摘要 摘要 半导体材料的气敏响应主要是一种表面反应过程，因此，通过对材料的微 观结构、形貌以及表面进行特殊处理可以改善材料气敏性能。本课题在利用化 学水浴法制备 ZnO 纳米棒的基础上，对 ZnO 纳米棒分别进行贵金属和金属氧化 物表面修饰，以期提高材料气敏性能。本课题主要包括以下研究内容： 1. 用化学水浴法制备纯的 ZnO 纳米棒，探究喷雾热解法、提拉法两种 ZnO 种子层制备工艺对其后水浴生长的 ZnO 纳米棒形貌的控制作用。从 SEM 图中看 出，在喷雾热解法制作的种子层上水浴制备的 ZnO 纳米棒为花状结构，而在提 拉法制备的种子层上生长的 ZnO 纳米棒分布均匀、表面光滑、且无团聚现象。 2. 由于化学-电阻型气体传感器的性能在很大程度上受表面吸附、表面化学 反应影响, 因此，对化学水浴法制备的六方纤锌矿 ZnO 纳米棒，分别采用 Ag、 NiO 纳米颗粒对其进行了表面修饰处理，研究了表面修饰对 ZnO 纳米棒的气敏 选择性、敏感性的作用。XRD 检测结果发现，经过修饰的 ZnO 纳米棒并没有检 测到表面修饰物的特征峰，但在 SEM 图中，可以看到微量修饰物的存在。而气 敏检测结果表明，通过表面修饰的 ZnO 纳米棒对乙醇气体的选择性和灵敏度都 有了很大的提高。 3. 通过化学水浴法在 ZnO 纳米棒表面修饰铜的氧化物，探究其形貌特性和 气敏特性。SEM 图像结果表明，ZnO 纳米棒上的铜的氧化物纳米颗粒呈现微小 的花状结构。气敏测试结果表明，其提高了对 H2S 气体的选择性和灵敏度。 4. 通过水热法在 ZnO 纳米棒表面修饰铁的氧化物，探究其形貌特征和气敏 特性。SEM 图像结果表明，铁的氧化物在 ZnO 纳米棒呈现小型的层状结构。气 敏测试结果表明，其提高了对乙醇气体的灵敏度。 关键词：ZnO 纳米棒；化学水浴法；表面修饰；气敏性能 I Abstract Abstract Abstract The brief gas responsive principles are based on chemisorptive and redox reactions on the surface of the sensitive meterials. Therefore, the gas sensing performances would be improved by the treatments on microstructure, morphology and surface of sensitive meterials. Bare ZnO nanorods were prepared by the method of chemical bath deposition. In order to improve the properties of the gas sensors based on ZnO, various material-modified treatments were employed on the bare ZnO nanorods.This paper mainly includes the following contents: ZnO nanorods were prepared by the method of chemical bath deposition. The morphology of ZnO nanorods were modulated with different ZnO seed layers which were prepared by spray pyrolysis and Czochralski method. Th