半导体器件模拟的网格划分与加密-电子与通信工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 分类号 密级 UDC 注 1 学 位 论 文 半导体器件模拟的网格划分与加密 （题名和副题名） 赵俊峰 （作者姓名） 指导教师 朱小芳 副教授 电子科技大学 成 都 （姓名、职称、单位名称） 申请学位级别 硕士 专业学位类别 工 程 硕 士 工程领域名称 电子与通信工程 提交论文日期 2013.04 论文答辩日期 2013.05 学位授予单位和日期 电子科技大学 2103 年 6 月 28 日 答辩委员会主席 评阅人 注 1：注明《国际十进分类法 UDC》的类号。 THE GRID DIVISIORY AND ADAPTIVE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE SIMULATION A Master Thesis Submitted to University of Electronic Science and Technology of China Major: Electronics and Communications Engineering Author: Zhao Junfeng Advisor: Zhu Xiao fang School : School of Physical Electronics 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工 作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地 方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含 为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。 与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明 确的说明并表示谢意。 作者签名： 日期： 年 月 日 论文使用授权 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁 盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文 的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或 扫描等复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 作者签名： 导师签名： 日期： 年 月 日 2 摘要 摘 要 一开始，人们习惯于用解析模型的方法来分析半导体器件。解析模型是根据 一定的分析和假设，给出在一定条件下适用的数学表达式来描述器件的物理和电 学特性。虽然方便，但因为解析求解的困难，通常只能处理一维问题，并且要做 很多的假设与近似，精度不够高。随着大规模集成电路的发展，解析模型越来越 不能满足需要，数值模型正是在这种情况下发展起来的。和解析模型相比，数值 模型是从半导体器件所满足的基本方程出发，依据器件的集合结构建立严格的数 学模型，对其进行数值求解，得到器件的特性参数。此种方法比解析模型精确的 多，但求解过程则要复杂的多。 针对上述问题，需要用数值技术求解非线性偏微分方程式。首先需要将非线 性偏微分方程所描述的区域分割成有限个子区域，然后把整个区域上的非线性问 题化简成在单个子区域上的线性问题，最后完成线性方程组的求解。网格划分的 功能就是将计算域分割成若干个子区域。在该求解过程中，网格划分的基本功能 是实现非线性方程的线性化。 得到计算模型后，首先进行网格划分。网格划分是比较复杂的事。网格划分 的优劣关系到最终的数值解收敛与否，还关系到收敛速度的快慢。目前的网格划 分方法主要有四叉树法和 Delaunay 法，Delaynay 法是各向同性的，网格本身没有 方向性，与之对应，四叉树法是各向异性的，各个网格节点之间是有方向的，但 是四叉树的缺点是对于复杂边界的适应性较差，常在边界处产生质量很不好的网 格，而 Delaynay 法对于复杂边界有几好的适应性，所以，基于他们的优缺点，本 文采用两种方法结合的方式来完成网格的划分，主要内容如下: 1. 介绍基本的半导体器件物理的知识以及基本的离散数值方法。 2. 编写网格生成器的方法有多，我们需要根据半导体的数值离散方法来编写 合适的网格生成器，本文介绍的是四叉树法和 Delaunay 法相结合的方式。 3. 完成基本的网格结构以后，需要根据掺杂完成初步的加密操作。 4. 在基于 Delaunay 方法的开源软件 Triangle 帮助下，完成网格边界信息的处 理和储存。 关键词：半导体，四叉树三角网，Delaunay 三角，自适应 III ABSTRACT ABSTRACT Semiconductor devices are usually simulated by the analytical models at the very beginning. A analytical model is based on some anal