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X光测厚仪原理和系统应用 　　摘要：工业用测厚仪有接触式和非接触式两种，通常在线测量使用非接触式测厚仪。X光测厚仪应用X射线穿过被测材料的衰减来检测厚度。这种测厚仪在热轧机工作现场得到广泛应用。本文通过对热轧机所使用的X光测厚仪的分析，介绍了测厚仪的工作原理，描述测厚仪的射线发射和接受装置，对于影响测厚精度的各种因素进行分析和消除，对测厚仪硬件系统的组成、操作系统的结构和功能进行了说明。 　　关键词：测厚仪；电离室；射线管 　　 　　前言 　　 　　用于轧机中的测厚仪可是是接触式的，也可以是非接触式的。接触式测厚仪[1]适用于离线测量，非接触式测厚仪一般用于在线测量。非接触式测厚仪一般分成以下三大类:光学测厚仪；同位素测厚仪；X射线测厚仪。 　　各类测厚仪不但在操作原理上不同，而且在测量的范围、测量的精度以及动态相应特性等方面也有所不同。目前非接触式测厚仪应用比较广泛的是X光射线测厚仪。 　　 　　1 X射线测厚仪工作原理 　　 　　X射线测厚仪的工作原理是：某种已知冶金学性质的材料吸收辐射的速率是确定的。一旦知道了吸收系数，就可以按照X射线发生器里发出的射线的衰减函数来对测量装置进行标定，从而得出所需的目标厚度值[2]。为了达到预定精度，在对X射线测厚仪进行标定时应考虑到冶金学方面的特点以及所测的轧件厚度。 　　 　　2 X光测厚仪主要设备组成 　　 　　主要由X光高压射线管、电离室和其他辅助装置组成。 　　 　　2.1 高压射线管 　　高压射线管原理是射线管阴极侧接高压负电压，阳极接地，通过高压发生器的高压加在阴极上，阴极发射电子碰撞阳极发出射线。通常阴极、阳极间电压为10~160KV，阴极电流为2.5~4A，射线管电流为1.5~6Ma。射线管所消耗的能量只有2%转化为X射线，其他能量都转变为热能，因此在高压射线管侧需要安装强制水冷装置以防止射线管烧损。 　　2.2 电离室 　　电离室是一种以气体为介质的射线探测器，当从高压射线管里发出的射线穿过带材时, 射线被带材吸收一部分, 未吸收的射线击到电离室, 进行电离后产生一个与击到电离室的射线量成一定关系的电信号, 此信号放大成一0~10V的直流电压信号, 被送到控制器快速进行计算和处理, 最后得出厚度值。击到电离室的射线量与被测物厚度之间的关系可由式(1)表示： 　　ln(I/Io)=－μρx(1) 　　式中：I为测厚仪X光发光管发生的射线量；Io为电离室所吸收的射线量；μ为被测物的吸收系数；ρ为被测物体的密度；x为被测物的实际厚度。 　　如图所见，在两极板间加几百伏的电压，两极板间建立电场。如果在极板间有射线照射，则使气体电离，产生正、负离子。在电场力作用下，正离子趋向负极，负离子趋向正极，从而产生电离电流。该电流流经负载电阻R产生压降作为输出信号。 　　电离电流I1可表示为：I1=Ioslpe(2) 　　式中，I０为每秒钟进入电离室的粒子数目；s为电离比值；l为粒子在电离室中的平均路程；p为电离室的充气压力；e为电子电荷量。由上式可见，对已定电离室，s、l、p和e均为常数，故可得：I1=k1I０ 　　式中：k1为常数。 　　可见，辐射强度愈大，产生的电流I1愈大，那么在探测器上的输出的电压降愈高。 　　V=K2I1=K1K2I0=KI0(3) 　　式中：V为探测器输出电压。 　　通过(1)、(3)两式，可以得出： 　　X=a+b×ln(v)(4) 　　式中：a、b为μ、ρ、I0、K有关常数。 　　可以看出, 探测器的输出电压与击到电离室的射线量成正比关系, 被测物的厚度与探测器的输出电压成自然对数关系。 　　 　　3影响测量精度的因素 　　 　　X光测厚仪作为非接触式测量装置，存在很多因素影响测量精度，这些影响因素需要在测量前进行修正。 　　3.1 被测材料温度的影响。由于X光测厚仪是利用射线穿过被测材料造成能量衰减来计算被测厚度的，因此在被测材料温度很高的情况下，测厚仪所返回的测量值要比实际值小，因此需要对被测材料温度进行测量，通过温度值的不同来补偿不同温度材质对应的测量值。 　　3.2 材料密度的影响。对于不同合金材料的不同，其密度也是不同，因此会造成射线穿过能力的不相同，密度越大的材料，测厚仪所反馈的厚度会比实际值大，因此需要针对不同材料修正测厚仪的测量结果。对于X光测厚仪来说，材料的不同对于测量结果的影响是最大的。 　　3.3 环境的影响。工作现场环境空气中存在的灰尘、水滴、粉屑等都会对射线造成吸收、反射等影响，因此也会影响测量值的精度，这些因素的补偿也需要在测厚仪模型中进行修正和补偿。 　　3.4 其他因素影响。高压射线管发光装置的洁净度；射线源与电离室的距离；电离室的类型、射