超声喷雾热解法制备MgO薄膜及性能研究-电子与通信工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 南京邮电大学学位论文原创性声明 本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。 尽我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过 的研究成果，也不包含为获得南京邮电大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。 与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。 本人学位论文及涉及相关资料若有不实，愿意承担一切相关的法律责任。 研究生签名：______ _ __ 日期：____ _ _ 南京邮电大学学位论文使用授权声明 本人授权南京邮电大学可以保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子文 档；允许论文被查阅和借阅；可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索； 可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编本学位论文。本文电子文档的内容和纸质 论文的内容相一致。论文的公布（包括刊登）授权南京邮电大学研究生院办理。 涉密学位论文在解密后适用本授权书。 研究生签名：______ _ _ 导师签名：____________ 日期：______ __ _ 摘要 MgO 薄膜具有很多优良的性质，例如良好的化学稳定性和热稳定性，并且在室温下与多 数钙钛结构的铁电材料有相近的晶格常数，非常适合作为一些功能氧化物薄膜材料与半导体 衬底之间的缓冲层，从而有效的缓解两者之间的晶格失配、防止产生扩散现象，在微型电子 元器件领域具有广阔的应用前景。 本文采用自制的超声喷雾热解装置，以稀 HNO3 和 MgO 粉末配置的 Mg(NO3)2 水溶液为 前驱液，石英基片作为衬底制备了 MgO 薄膜，并利用 X 射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜 (SEM) 、紫外可见光分光光度计（UV-VIS）对 MgO 薄膜的晶体结构及性能进行了表征。研 究了衬底温度对 MgO 薄膜晶体结构、表面形貌及其光学特性的影响规律，探索了退火处理对 MgO 薄膜的晶体结构和表面形貌的影响。 实验表明，当衬底温度不超过 650 ℃时，随着衬底温度的提高，MgO 薄膜的结晶性能变 好，晶粒尺寸变大，表面更加致密平整。当衬底温度过高时，会造成 MgO 晶粒大小悬殊， MgO 薄膜致密性下降。光学特性的分析结果表明，随着衬底温度的升高，MgO 薄膜光透射 率随之升高，这些结果均可以通过反映机理得到比较完善的解释。因此可以看出衬底温度对 MgO 薄膜的晶体结构，表面形貌以及光学特性有显著影响，是调控 MgO 薄膜结构和光学特 性的有效手段。对 MgO 薄膜进行退火处理后发现该工艺可以在一定程度上改善 MgO 薄膜的 结晶质量，处理后的 MgO 薄膜的晶粒尺寸明显变大，MgO 晶粒变得圆润，排列更加致密， 表面更平整，薄膜的结晶质量改善。可见，退火处理可以有效的优化 MgO 薄膜晶体结构和表 面形貌。 关键词: MgO 薄膜，超声喷雾热解，温度，致密性，退火处理 I Abstract MgO film has many excellent properties such as good chemical stability and thermal stability. It has the similar lattice constant compared with ferroelectric materials which have perovskite structure at room temperature. It’s very suitable to be buffer layer between some functional oxide thin films and semiconductor substrate so as to relieve the lattice mismatch effectively and prevent the diffusion. MgO film has been widely used in the field of micro-electronic components. Ultrasonic spray pyrolysis has been applied to deposit MgO films with mgnesium nitrate solution as the precursor material on quartz plate substrate. The crystalline structure and microstructure of MgO films were verified by X-ray diffraction (XRD), scanning elec