多光束薄膜应力测绘系统的设计-控制工程专业论文.docxVIP

目 录 第一章 绪 论 1 1.1 薄膜技术的应用和发展 1 1.2 薄膜特性检测的意义与现状1 1.2.1 薄膜生长率的检测 2 1.2.2 薄膜应力的检测 3 1.3 本文的研究工作3 第二章 薄膜应力检测的相关理论及方法4 2.1 薄膜应力简介4 2.2 薄膜应力检测方法介绍 5 2.2.1 X 射线衍射法 5 2.2.2 Raman 光谱法 6 2.2.3 基片变形法 7 2.3 本章小结 9 第三章 测绘系统的设计与搭建 10 3.1 测绘系统的设计与改进 10 3.2 利用 LabWindows/CVI 编写测绘系统软件 13 3.2.1 开发环境14 3.2.2 仪器 I/O 助手 16 3.2.3 交叉平台通信 17 3.2.4 高级科学分析 19 3.2.5 Windows 风格控件 20 3.3 多光束薄膜应力测绘系统的搭建 21 3.3.1 薄膜应力测绘设备的构架21 3.3.2 二维二元相位光栅设计加工 21 3.3.3 算法及控制程序开发22 3.3.4 多光束薄膜应力测绘系统22 3.4 本章小结 23 第四章 软件开发及应力测绘 24 4.1 软件设计思路24 4.2 图像捕捉 25 4.3 软件开发 27 4.4 算法修正 28 4.5 软件参数调整30 4.6 应力检测及绘图34 4.7 本章小结 36 第五章 总结与展望37 5.1 测试及对比37 5.2 本文的工作总结37 5.3 对研究工作的展望 38 参考文献39 附件 A 软件源代码（数据处理部分） 41 致 谢49 多光束 多光束薄膜应力测绘系统的设计 第一章 绪 论 PAGE PAGE 11 PAGE PAGE 10 第一章 绪 论 1.1 薄膜技术的应用和发展 随着科学技术的发展，薄膜技术已广泛应用于国民经济各个领域。薄膜技术的应 用主要体现在以下三个领域： （1）在光学领域，通过光学薄膜自身对光的反射和透射等变换作用，达到众多 预期的光学性质，例如，各种类型的光学薄膜和光学部件； （2）在机械加工领域，薄膜通常被用来优化机械的表面性能，在机械部件表面 镀上各种类型的功能膜，机械性能会得到显著提升，例如提高耐磨性、减小表面粗糙 度、增加润滑等； （3）在电子工业方面领域，如今日益追求小型化、轻量化、集成化、低成本的 超大规模集成电路，采用薄膜技术能够实现元件、引线和接头的多层布线和分层镀制， 根据应用可分为导体膜、半导体膜、介质膜、超导膜和功能膜等。另外，由于薄膜可 以镀得很薄（原子量级），加之镀层和基底两者的结构特性和表面效应[1]，薄膜可以 具有一般材料所不具备的新特性和新功能，使其能在传统光电子学领域被大量使用。 总之，薄膜技术涉及许多跨学科的理论基础，自身也已发展成为一门综合性的应 用科学。我国在这一领域正处于快速发展阶段，但产业规模和水平有待于进一步提高。 在一些发达国家中，薄膜技术已相当成熟，并被应用至各行各业中，除了发展集成光 学薄膜、集成电路薄膜、液晶显示膜、磁盘、光盘薄膜外，还大量生产了刀具硬质膜、 塑料金属化膜制品、建筑玻璃膜制品、各种装饰膜和卷镀薄膜，很多产品已具备相当 大的生产规模。可以预见，在不久的将来，薄膜产业必将快速、茁壮的发展起来。 1.2 薄膜特性检测的意义与现状 薄膜特性，也就是薄膜自身具有的物理和化学性质，及其所表现出的功能等各项 参数的总称。在不同的应用场合，我们对薄膜性质有着不同的技术要求。薄膜特性大 致可以包括这几个方面：厚度（生长率）、折射率、消光系数等可归结为薄膜的光学 常数；反射特性、透射特性、吸收特性和散射特性称为薄膜的光学性能；薄膜的附着 力、应力和机械强度则称为薄膜的机械性能。此外，薄膜自身的组成（化学成分和晶 第一章 绪 论 多光束薄膜应力测绘系统的设计 体结构）也是研究薄膜特性中的重要参数指标。 目前，薄膜技术研究中及其重要的一个方面是对薄膜特性的实时检测和控制。虽 然根据不断积累的生长经验，我们可以选择恰当的镀制工艺及预先设定薄膜生长参 数，以期达到或凸显出我们所需要的薄膜特性，同时也可以将某些不希望的薄膜特性 的影响减小到最低程度，但是在薄膜的生长制备过程中，由于设备工艺参数（真空度、 气体流速、衬底温度、电压及电流等）、样片尺寸参数、膜厚监控装置的精度、制备 工艺以及环境的影响，最终得到的薄膜特性并非十分稳定，与我们的期望值存在一定 的差异。这就需要我们设计出一种可靠、简便的检测手段对沉积中的薄膜特性进行在 线监测，实时地获得薄膜特性的参数，并将修正结果自动反馈给控制设备，对镀制中 的各项参数及时予以修正，从而最大限度的满足我们所预期的薄膜特性，实现薄膜沉 积过程的