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浅析电子束加工工艺的的特点及其的应用 　　【摘 要】本文通过对电子束加工的原理及其工艺特点的介绍，阐述了电子束加工这种高速能束加工方式的发展潜力。并且通过对电子束加工在打孔，焊接，热处理等方面的应用的分析介绍，展现电子束加工在应用方面所具有的特性。本文主要从这两方面介绍电子束加工，体现其在加工方面的突出优势。 　　【关键词】电子束；工艺特点；应用 　　0 引言 　　随着科学技术的高速发展，大多数的元器件都要进行超高精度的加工，其数量级可达到纳米级，而电子束加工则在其中起了举足轻重的作用。电子束加工属于特种加工方法的一种，在工业上的应用已有差不多半个世纪的历史，现已被许多部门完全接受。最近几年，电子束加工技术日益成熟，应用也是更加广泛。打孔、焊接、切割、刻蚀、热处理等各个领域都有电子束加工发挥的空间。其中电子束加工在焊接方面应用最为广泛，也最具竞争力。 　　1 电子束加工的的定义及原理 　　1.1 电子束加工的定义 　　电子束加工是利用能量密度非常高的高速电子流，在一定真空度的加工舱中使不同的金属、非金属材料熔化，蒸发和汽化而去除的高能束加工。 　　1.2 电子束加工的原理 　　电子束加工是在真空的环境下，利用加热的阴极发射电子流，使带负电荷的电子流高速飞向阳极，中途通过加速极加速，并经电磁透镜聚焦，使得能量密度高度集中，能够把能量聚集到直径为0.1至10μm的斑点里面，从而获得106至109W/cm2能量密度，在非常短的时间里，将其中的能量转变为热能，使被冲击的材料温度达到数千摄氏度，从而引起被冲击材料的熔化和气化，冲击过程中产生的废弃物质将被真空系统抽出。简而言之，电子束加工是一种以高能量密度的电子流作为热源，对各种工件材料进行区别于传统机械加工的特殊加工工艺。 　　2 电子束加工的工艺特点 　　因为电子束加工特殊的工作原理，所以使其具有独特的工艺特点。电子束加工具有许多其他加工方式所不具备的优点，同时它也有一定的缺陷。 　　2.1 电子束加工的优点 　　2.1.1 电子束直径很小 　　电子束可以非常微细地聚焦，电子束直径甚至能聚焦到0.01μm。电子束长度可以达到直径的数十倍以上，因此完全可以进行深孔加工和微细加工。 　　2.1.2 电子束能量密度高 　　电子束集束在直径为几个微米的斑点上时，能量可达到109W/cm2，足以熔化和气化任何材料。 　　2.1.3 生产效率高 　　因为电子束能量密度很高，并且能量利用率可达90%，所以虽然加工材料、孔的大小有所不同，但总的来说，加工5mm左右厚的工件也就数十秒，非常之短。 　　2.1.4 材料适应性广 　　电子束加工的从原则上讲，只要电子束能量密度足够大，各种材料均可以加工，特别适合加工难熔、特硬的金属材料和非金属材料。例如，电子束加工就可以对难熔的陶瓷进行打孔、焊接等特殊加工。 　　2.1.5 工件变形小 　　电子束加工属于非接触式加工，主要靠电子流瞬间蒸发掉需要去除的材料，加工点周围的热影响很小，工件基本不会产生应力和变形，而且工具不容易被损耗，所以加工材料范围相当广，尤其适合加工热敏材料。 　　2.1.6 控制性能卓越 　　电子束能量密度大小，汇聚位置可以通过电场或磁场控制电子束的聚焦来实现，并且控制精度很高。所以整个加工过程完全可以实现自动化。例如，可以通过电气控制加工带锥度孔和曲面弧形切割。 　　2.1.7 污染非常少 　　由于电子束加工是在真空中进行的，因此污染很少，工件表面不会氧化，所以非常适合加工易氧化的金属和对纯度要求非常高的半导体材料。 　　2.2 电子束加工的缺陷 　　电子束加工原理决定了其需要一整套的真空设备，因此电子束加工的成本很高。电子束加工的性质还决定其多用于微细加工，有一定的局限性。另外电子束加工的过程中会产生X射线，对人体会有一定的危害。所以总的来说电子束加工在加工和应用中存在一定缺陷的。 　　3 电子束加工的应用 　　由于电子束加工中电子束能量密度和加工时间可以调整，所以其应用比较广泛。以下将主要从打孔、焊接、热处理这三个方面介绍电子束加工的应用。 　　3.1 电子束打孔 　　电子束打孔在实际中已经得到应用，特别是在国外，电子束打孔已经被广泛应用于航空、电子、化学等工业。如机翼的吸附屏的孔，电子电路印刷版，化纤喷丝头等。 　　电子束加工出的孔可以非常小，最小的孔直径可达？椎0.001mm。 　　电子束打孔时，可以将发射电子束再细分为许多道更细的电子束，这样可以同时打出更多的孔，效率很高。专用塑料打孔机就是应用这样的原理，每秒可打出50000孔，且孔径可在40至120μm范围内调整。 　　电子束加工可以加工一些特殊要求的孔，比如说加工深小孔，电子束可以在叶片上打出孔径比大于