非浸润模板微粒印制技术工艺研究-生物化学与分子生物学专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 PROCESS STUDY OF PARTICLE REPLICATION IN NON-WETTING TEMPLATES A Master Thesis Submitted to University of Electronic Science and Technology of China Major: Biochemistry and Molecular Biology Author: Luo Lin Advisor: Prof. Jian Yuanhao School : School of Microelectronics and Solid-state electronics 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工 作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地 方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含 为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。 与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明 确的说明并表示谢意。 作者签名： 日期： 年 月 日 论文使用授权 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁 盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文 的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或 扫描等复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 作者签名： 导师签名： 日期： 年 月 日 摘 要 摘 要 在纳米材料研究领域中，科学家们一直致力于开发能够精确控制纳米微结构 尺寸、形态、组成的制备方法。非浸润模板微印制技术(PRINT, particle replication in non-wetting templates）以不亲水不亲油的含氟材料为模板，预先根据所需微结构的 尺寸、形态设计制作模板，利用模板的空间局限作用，压印制备特定尺寸、形态、 取向、排布的聚合物和无机材料微粒。PRINT 技术的工艺流程包括三个步骤：硬 模板的制备、软模板的制备、微粒印制。首先，通过现代光刻技术制备硅片硬模 板，模板上刻有与印制粒子尺寸和形态相应的凹凸图案；其次，将含氟聚合物的 液态前驱体涂敷在硬模板上，待其交联固化后脱模，得到与硬模板图案具有对应 关系的软模板；最后，将目标材料的液态前驱体涂敷在光滑基片上，以软模板为 印章进行压印，利用含氟材料的低表面能的特点，将多余液体通过挤压排出，待 留在空腔内的液体固化后脱模，即可得到设计所需要的单分散的具有特定尺寸的 纳米微粒。本论文主要围绕 PRINT 技术中的含氟软模板材料和印制粒子的工艺展 开了研究。 首先，以两端为羟基的全氟聚醚(Fluorolink D10-H，1500 g/mol)为原料，以氰 基甲基丙烯酸乙酯为封端剂、六亚甲基二异氰酸酯为扩链剂，成功合成了具有不 同分子量、末端为双键的 PFPE-DMA、PFPE-HDMI-DMA（2:1）、PFPE-HDMI-DMA （3:2）三种含氟预聚物。1H-NMR、19F-NMR、IR 等手段表明预聚物的化学结构 与理论预期相吻合，副产物和杂质较少。DSC 测试表明，三种预聚物在室温附近 以无定形状态存在，在 30℃附近的粘度随其分子量的增加而增大 其次，研究了软模板的固化工艺，考查了预聚物的分子量对固化膜性能的影 响。表面接触角测试表明，三种具有不同预聚物分子量的固化膜的表面接触角相 差不大，都具有既疏水又疏油的特性，容易脱模。拉伸试验表明，随着预聚物分 子量的提高，软模板模的断裂伸长率提高，而拉伸强度和模量下降，特别是扩链 后的 PFPE-HDMI-DMA (2:1)和 PFPE-HDMI-DMA（3:2）膜展现出较好的柔韧性， 是潜在的良好的软模板材料。 再次，采用现代光刻工艺，在 4 英寸硅片上成功制造了含有六种不同尺寸和 形态微粒图案的硬模板。硬模板的微粒图案形貌特征明显，线条无缺陷，分辨率 较高，但截面尺寸比设计尺寸略小。软模板在图案复制过程中，基本保留了原始 I 摘 要 硬模板图案的形貌，同一区域的软模板的粒子尺寸大小基本一致，但其三维尺寸 要比硬模板有较大下降。这可能与软模板从硬模板上脱离后链段发生卷曲、内应 力得以释放有关。 最后，以 PLA 为原料，以 PFPE-HMDI-DMA（3:2）为软模板，研究了 PRINT 技术压印粒子的工艺条件，成功得到了多种形态的单分散微粒。光学显微镜和激 光共聚焦显微镜测试表明，在合适工艺条件下制备得到