钙钛矿型铁电体原子间相互作用势的优化及应用微电子学与固体电子学专业论文.docxVIP

学校代码 10530 学 号 200710060944 分 类 号 TM22+3 密 级 硕 士 学 位 论 文 钙钛矿型铁电体原子间相互作用势的优 化及应用 学 位 申 请 人 胡晓琴 指 导 教 师 谢国锋 副教授 学 院 名 称 材料与光电物理学院 学 科 专 业 微电子学与固体电子学 研 究 方 向 铁电物理及铁电器件物理 二零一零年六月十日 Optimization and Application of Interatomic Potential Parameters for Perovskite Ferroelectrics Candidate Hu Xiaoqin Supervisor Associate Professor Xie Guofeng College Faculty of Material and Photoelectronic Physics Program Microelectronics and Solid State Electronics Specialization Ferroelectric Physics and Ferroelectric Device Degree Master of Engineering University Xiangtan University Date April 16, 2010 湘潭大学 学位论文原创性声明 本人郑重声明：所呈交的论文是本人在导师的指导下独立进行研究所 取得的研究成果。除了文中特别加以标注引用的内容外，本论文不包含任 何其他个人或集体已经发表或撰写的成果作品。对本文的研究做出重要贡 献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的 法律后果由本人承担。 作者签名： 日期： 年 月 日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，同意 学校保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文 被查阅和借阅。本人授权湘潭大学可以将本学位论文的全部或部分内容编 入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇 编本学位论文。 涉密论文按学校规定处理。 作者签名： 日期： 年 月 日 导师签名： 日期： 年 月 日 I I 摘要 钙钛矿(ABO3) 型铁电材料具有优良的铁电、介电、压电、热释电、非线性 光学等特性，所以它们在现代电子技术与光电子技术领域获得了广泛的应用。自 上世纪八十年代以来，由于计算机软硬件及算法的发展，计算机模拟的方法被广 泛的用来研究钙钛矿型铁电体的结构及性能，其中分子动力学就是重要的计算机 模拟技术之一。分子动力学模拟的关键在于原子间相互作用势的确定。模拟结果 的精确性和可靠性在很大程度上取决于原子间相互作用势参数的质量。钙钛矿铁 电体原子相互作用势函数的参数非常多，高效地优化参数是一件非常复杂的工 作。 本文提出了一种高效的势参数优化方法，即先应用方差分析的灵敏度方法从 很多的势参量中找出对结构和性能影响最明显的势参量，忽略那些影响比较小的 势参量，这样就在很大程度上降低了优化问题的维数；然后应用遗传算法对灵敏 度大的参量进行优化，并给出了基于硬球模型和壳模型势参数的优化结果。对于 硬球模型，我们分别用文献中的势参数和本文优化的势参数代入GULP计算程序 得出立方相BaTiO3和SrTiO3晶格常数和物理性能的值，并与实验值进行了比较； 对于壳模型，我们分别用文献中的势参数和本文优化的势参数代入GULP计算程 序得出立方相和四方相BaTiO3 和PbTiO3 晶格常数和物理性能的值，并与实验值 进行了比较。结果表明本文优化的势参数模拟得到的结构和性能很好地吻合了实 验值，即应用遗传算法优化灵敏度系数大的势参数的是非常理想的。 最后我们把我们优化后的硬球模型势参数应用到BaTiO3 薄膜的生长模拟 中。从单个原子事件出发，应用动力学蒙特卡罗方法模拟BaTiO3薄膜生长过程， 制定了模拟钙钛矿结构生长的成键方法，提出了适合模拟钙钛矿结构薄膜生长的 动力学蒙特卡罗KMC方法（Kinetic Monte Carlo），分析基底温度和沉积速率对 BaTiO3 薄膜生长过程中形核率、岛密度和成键率的影响，以及沉积原子动能对 BaTiO3 薄膜生长过程中三维生长模式以及缺陷率的影响，取得了一些有用的结 果，希望可以为优化工艺参数、制备高性能铁电薄膜提供依据。 关键词：钙钛矿铁电体；势参数；灵敏度分析；遗传算法；动力学蒙特卡罗方法； 薄膜生长 II II Abstract Perovskite ferroelectrics are very importa