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基于pdms皱纹模板的贴花转印术的表面图案化-材料学专业论文.docxVIP

基于pdms皱纹模板的贴花转印术的表面图案化-材料学专业论文.docx

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基于pdms皱纹模板的贴花转印术的表面图案化-材料学专业论文

目 录 HYPERLINK \l _bookmark0 第一章 绪论1 HYPERLINK \l _bookmark1 1.1 光刻技术1 HYPERLINK \l _bookmark2 1.2 软印刷技术2 HYPERLINK \l _bookmark3 1.2.1 微接触印刷2 HYPERLINK \l _bookmark4 1.2.2 贴花转移印刷技术4 HYPERLINK \l _bookmark5 1.3 压印技术6 HYPERLINK \l _bookmark6 1.4 表面起皱7 HYPERLINK \l _bookmark7 1.4.1 溶剂诱导法7 HYPERLINK \l _bookmark8 1.4.2 加热诱导法8 HYPERLINK \l _bookmark9 1.4.3 机械拉伸法8 HYPERLINK \l _bookmark10 1.5 研究思路和创新之处9 HYPERLINK \l _bookmark11 第二章 实验原料及实验设备11 HYPERLINK \l _bookmark12 2.1 实验原料11 HYPERLINK \l _bookmark13 2.1.1 PDMS 的性质 11 HYPERLINK \l _bookmark14 2.2 实验仪器11 HYPERLINK \l _bookmark15 2.3 表征手段12 HYPERLINK \l _bookmark16 2.3.1 倒置荧光显微镜(IFM) 12 HYPERLINK \l _bookmark17 2.3.2 扫描电镜(SEM) 12 HYPERLINK \l _bookmark18 2.3.3 原子力显微镜(AFM) 13 HYPERLINK \l _bookmark19 第三章 PDMS 皱纹模板的制备以及图案转移 14 HYPERLINK \l _bookmark20 3.1 PDMS 弹性体的制备 14 HYPERLINK \l _bookmark21 3.2 PDMS 皱纹模板的制备 14 HYPERLINK \l _bookmark22 3.3 基于 PDMS 皱纹模板的图案转移 15 HYPERLINK \l _bookmark23 3.4 实验结果与讨论15 HYPERLINK \l _bookmark24 3.4.1 OP/UVO 加固对 PDMS 皱纹模板的影响 16 HYPERLINK \l _bookmark25 3.4.2 NaOH 的浓度对 PDMS 皱纹模板的影响 18 HYPERLINK \l _bookmark26 3.4.3 浸泡时间对 PDMS 皱纹模板的影响 18 HYPERLINK \l _bookmark27 3.4.4 NaOH 浓度对基底转移形貌的影响 20 HYPERLINK \l _bookmark28 3.4.5 加热温度对皱纹模板转移的影响21 HYPERLINK \l _bookmark29 3.4.6 揭开模板的方向对图案转移的影响22 HYPERLINK \l _bookmark30 3.4.7 不同处理方法对 PDMS 皱纹模板转移的影响 23 HYPERLINK \l _bookmark31 3.5 本章小结24 HYPERLINK \l _bookmark32 第四章 PDMS 皱纹模板在不同基底上的图案转移 25 HYPERLINK \l _bookmark33 4.1 PDMS 皱纹模板在不同基底上的图案转移 25 HYPERLINK \l _bookmark34 4.2 实验结果与讨论25 HYPERLINK \l _bookmark35 4.2.1 未加固的 PDMS 皱纹模板在 Si 基底上的图案转移 25 HYPERLINK \l _bookmark36 4.2.2 OP 加固 PDMS 皱纹模板在 Si 基底上的图案转移 26 HYPERLINK \l _bookmark37 4.2.3 未加固皱纹模板在 PDMS 基底上的图案转移 27 HYPERLINK \l _bookmark38 4.2.4 UVO 加固皱纹模板在 PDMS 基底上的图案转移 30 HYPERLINK \l _bookmark39 4.2.5 OP 加固 PDMS 皱纹模板在 PDMS 基底上的图案转移 33 HYPERLINK \l _bookmark40 4.3 基底硬度改变对转移微图案形貌的影响35 HYPERLINK \l _bookmark41 4.3.1 UVO 处理 PDMS 基底时

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