电子显微镜介绍.ppt

Company Logo L o g o L o g o 电子显微镜 electron microscope Company Logo wps.cn/moban Contents 电子显微镜的定义、用途及种类 1 电子显微镜的历史及发展 2 电子显微镜的组成 3 电子显微镜的生产情况 4 Company Logo wps.cn/moban 电子显微镜的定义 电子显微镜 (electron microscope，EM)一般是指利用电磁场偏折、聚焦电子及电子与物质作用所产生散射之原理来研究物质构造及微细结构的精密仪器。近年来，由于电子光学的理论及应用发展迅速，此项定义已嫌狭窄，故重新定义其为一项利用电子与物质作用所产生之讯号来监定微区域晶体结构、微细组织、化学成份、 化学键结和电子分布情况的电子光学装置。 用电子光学仪器研究物质组织、结构、成分的技术称为电子显微术。 Company Logo wps.cn/moban 电子显微镜主要发展史 1932年 1939年 1965年 1959年 1975年 1981年 德国物理学家Knoll和Ruska研制成功第一台透射电子显微镜 德国西门子公司生产了第一台商品用的透射电子显微镜 英国剑桥科学仪器有限公司扫描电子显微镜作为商品问世 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所研制成功第一台透射电子显微镜 中国科学院北京科学仪器厂研制成功第一台扫描电子显微镜 瑞士科学家Binnig、Rohrer、Gerber和Weible发明扫描隧道显微镜 Company Logo wps.cn/moban 电子显微镜 Max Knoll(1897-1969) Ernst Ruska(1906-1988) 1938年，德国工程师Max Knoll和Ernst Ruska制造出了世界上第一台透射电子显微镜(TEM)。电子显微镜的分辨率可以达到纳米级(10-9nm)。可以用来观察很多在可见光下看不见的物体,例如病毒。 Charles Oatley 1952年，英国工程师Charles Oatley制造出了第一台扫描电子显微镜(SEM)。 世界上第一台电子显微镜 Company Logo wps.cn/moban 电子显微镜技术发展简史 Company Logo wps.cn/moban 电子显微镜的组成 电子显微镜由镜筒、真空装置和电源柜三部分组成。 镜筒 荧光屏 探测器 电子透镜 样品架 电子源 电子源是一个释放自由电子的阴极，栅极，一个环状加速电子的阳极构成的。 电子透镜用来聚焦电子，是电子显微镜镜筒中最重要的部件。 探测器用来收集电子的信号或次级信号 真空装置用以保障显微镜内的真空状态，这样电子在其路径上不会被吸收或偏向，由机械真空泵、扩散泵和真空阀门等构成，并通过抽气管道与镜筒相联接。 　 电源柜由高压发生器、励磁电流稳流器和各种调节控制单元组成 样品可以稳定地放在样品架上。此外往往还有可以用来改变样品（如移动、转动、加热、降温、拉长等）的装置。 Company Logo wps.cn/moban 电子显微镜技术的应用 样品制备方法主要包括： 超薄切片、负染色、金属投影、冷冻复型、快速冷冻深度蚀刻技术、免疫电子显微镜术、扫描电镜常规样品制备及扫描电镜冷冻断裂技术等。 在生命科学领域可用于胚胎及组织发生学方面的研究和观察； 在临床上可用于多种疾病亚细胞结构病变的观察和诊断，特别是肾小球疾病及肌病的诊断，以及一些疑难肿瘤的组织来源和细胞属性判定，如一些去分化、低分化或多向分化肿瘤的诊断和鉴别诊断；在农林科学方面，电镜技术对植物各种疾病病因诊断与防治的研究越来越重要。 利用电镜技术观察高分子、表面活性剂、碳纳米管及纳米粒子等结构形态，为化学及材料科学研究提供了有力的技术手段。 Company Logo wps.cn/moban 电子显微镜的分类 分类：电子显微镜按结构和用途可分为透射式电子显微镜、扫描式电子显微镜、反射式电子显微镜、发射式电子显微镜等。 1 透射电镜是透射成像，图像是二维的，靠欠焦形成一定的图像反差。透射式电子显微镜常用于观察那些用普通显微镜所不能分辨的细微物质结构 2 扫描电镜是反射成像，图像是三维的，有很好的立体感，但分辨率低于透射电镜，目前指标分辨率可以达到3个纳米。扫描式电子显微镜主要用于观察固体表面的形貌，也能与X射线衍射仪或电子能谱仪相结合，构成电子微探针，用于物质成分分析 3 发射式电子显微镜用于自发射电子表面的研究。 用途 Company Logo wps.cn/moban 透射电子显微镜 透射电子显微镜TEM （Transmission Electron Microscopy，亦称投射式电子显微镜）因