基于cell的光学邻近效应校正技术研究-电路与系统专业论文.docxVIP

浙江大学硕士学位论文 浙江大学硕士学位论文 基于Cell的光学邻近效应校正技术研究 第一章集成电路EDA技术 1．1集成电路产业与EDA技术 1．1．1前言 人类社会已进入到高度发达的信息化社会，信息社会的发展离不开电子产品 的进步。现代电子产品在性能提高、复杂度增大的同时，价格却一直呈下降趋势， 而且产品更新换代的步伐也越来越快，实现这种进步的主要因素是集成电路产业 生产制造技术的提高和电子设计技术的发展。前者以微细加工技术为代表，目前 已进展到深亚微米阶段，可以在几平方厘米的芯片上集成数千万个晶体管。后者 的核心就是EDA(Electronic DesignAutomation)技术。EDA是指以计算机为工 作平台，融合应用电子技术、计算机技术、智能化技术最新成果而研制成的电子 CAD(Computer-Aided Design)通用软件包，主要能辅助进行三方面的设计工作： IC设计，电子电路设计，PCB设计。没有EDA技术的支持，想要完成上述超大规 模集成电路的设计制造是不可想象的，反过来，生产制造技术的不断进步又必将 对EDA技术提出新的要求。 1．1．2 EDA技术的发展 回顾近30年电子设计技术的发展历程，可将EDA技术分为三个阶段。 七十年代为CAD阶段，人们开始用计算机辅助进行Ic版图编辑、PCB布 局布线，取代了手工操作，产生了计算机辅助设计的概念。 八十年代为CAE(Computer-AidedEngineering)阶段，与CAD相比，除了 纯粹的图形绘制功能外，又增加了电路功能设计和结构设计，并且通过电气连接 网络表将两者结合在一起，实现了工程设计，这就是计算机辅助工程的概念。 CAE的主要功能是：原理图输入，逻辑仿真，电路分析，自动布局布线，PCB 后分析。 九十年代为ESDA阶段，尽管CAD／CAE技术取得了巨大的成功，但并没有 把人从繁重的设计工作中彻底解放出来。在整个设计过程中，自动化和智能化程 度还不高，各种EDA软件界面千差万别，学习使用困难，并且互不兼容，直接 6 浙江大学硕士学位论文 浙江大学硕士学位论文 基于Cell的光学邻近效应校正技术研究 影响到设计环节间的衔接。基于以上不足，人们开始追求：贯彻整个设计过程的 自动化，这就是ESDA即电子系统设计自动化。 1．1．3 ESDA技术的基本特征 ESDA(Electronic System DesignAutomation)代表了当今电子设计技术的最 新发展方向，它的基本特征是：设计人员按照”自顶向下”的设计方法，对整个系 统进行方案设计和功能划分，系统的关键部分用一片或几片专用集成电路(ASlC) 实现，然后采用硬件描述语言(HDL)完成系统行为级设计，最后通过综合器和适 配器生成最终的目标器件，这样的设计方法被称为高层次的电子设计方法。下面 介绍与EDA技术相关的几个概念： 1)“自顶向下”的设计方法 10年前，电子设计的基本思路还是选择标准集成电路”自底向上”(Bottom-Up) 的构造出一个新的系统，这样的设计方法就如同一砖一瓦建造金字塔，不仅效率 低、成本高而且容易出错。 高层次设计给我们提供了一种咱顶向下”(Top．Down)的全新设计方法，这种 设计方法首先在项层进行功能方框图的划分和结构设计，在方框图一级进行仿 真、纠错，并用Veriiog HDL或VHDL等硬件描述语言对高层次的系统行为进行 描述，在系统一级进行验证。然后用综合优化工具生成具体门电路的网表，其对 应的物理实现级可以是印刷电路板或专用集成电路。由于设计的主要仿真和调试 过程是在高层次上完成的，这一方面有利于早期发现结构设计上的错误，避免设 计工作的浪费，同时也减少了逻辑功能仿真的工作量，提高了设计的一次成功率。 ∞ASIC设计 现代电子产品的复杂度日益加深，一个电子系统可能由数万个中小规模集成 电路构成，这就带来了体积大、功耗大、可靠性差的问题，解决这一问题的有效 途径就是采用ASIC(Application Specific Integrated Circuits)芯片进行设计，即专 用集成电路芯片。ASIC按照设计方法的不同可分为：全定制ASIC，半定制ASIC， 可编程ASIC(也称为可编程逻辑器件1。 7 浙江大学硕士学位论文 浙江大学硕士学位