双层电极结构的有机薄膜晶体管及其5阶振荡器的研究-微电子学与固体电子学专业论文.docxVIP

捅 捅 要 有机薄膜晶体管是有机集成电路中基本单元器件之一。为了把有机集成电路推向 实用，人们开展了大量的研究，其中大部分的研究又以提高器件的迁移率和开关电流 比、降低器件的阈值电压为主要目标。经过数十年的发展，有机半导体的研究不再局 限于单器件的研究，集成电路的构建逐渐成为该领域的首要目标。围绕着OTFT的性能 改善，本论文在OTFT的迁移率提高及其集成电路制备等方面开展了以下创新研究： 1)、从理论和实验两个方面研究了有机薄膜晶体管的界面态对器件迁移率的提高， 提出了双层电极结构的有机薄膜晶体管对提高载流子注入效率作用。双层电极结构是 金属氧化物Zr02过渡层和金属电极。 2)、根据COMSI艺设计和制备5阶环形振荡器，采用COMST艺制备的互补型反相器 的增益达到了2．5。 [关键词]有机薄膜晶体管有机电路过渡层OOMS AbstractOrganic Abstract Organic Thin Film Transistor(OTFT)is the building block device of organic integrated Circuit·A great many of researches have been carried out to bring organic electronics into practical application,most them focus on improving the mobility and ratio of on／off c1】r代mt and reducing the threshold voltage．After decades of year’S development．researches on orgamc semiconductor are not limited to the study of device，integrated circuits constructing lS becoming to be the principal target of this filed．Aim at the practical application of Organic Thin Film Transistor,this thesis focus on the research of its mobility improving and circuits integrating,and have made the following achievements： 1)Proposed a theory and fabrication to improve the mobility of OTFT with interface states·Improve the injection efficiency by increasing the bilayer source．drain S-D electrodes．The bilayer consists of a transition metal oxide Zr02 layer and a metal layer． 2)Design and preparation of 5-order oscillator by COMS technology,the inverter based on consisted of complementary OTFT made by CMOS technology get a gain of 2．5． Key words：Organic thin film transistors organic cirenit transition COMS 第一章 第一章 绪论 1．1有机薄膜晶体管的发展史 半个多世纪来无机半导体及其器件相关的研究与发展，已达到了一个较为完善和 成熟的过程。其理论体系和产业结构也非常完善与庞大。它对于现代工业化生产、科 技研究、乃至人们的日常生活都产生着巨大的影响。随着科技技术的不断革新，最近 二十年，一种可以与无机电子学相媲美、并且在一定程度上可以取代无机电子学的新 科技领域一有机电子学，以更为绚丽的形式展示在世人面前，而其猛烈的发展速度和 广大的应用前景，使得人们更加的关注这一学科。人们对有机半导体产生兴趣可以追 溯到20世纪中期，1960年，美国的martin pope对一些模型化合物分子，如葸等化合 物的基态和激发态电子性质进行了一系列的经典研究。可以看作是有机电子学的先驱。 现在有机半导体材料已经深入各行各业当中(图1．1)。 图1．1有机电子应用实例 2000年诺贝尔化学奖的科学家们合成出第一支有机薄膜晶体管，直到1986年制备 出基于聚