高频窄脉冲电流微细电解加工-机械工程学报.PDF

第42 卷第1 期 机 械 工 程 学 报 Vol. 42 N o . 1 200 6 年 1 月 CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING J an . 2006 高频窄脉冲电流微细电解加工* 李小海 王振龙 赵万生 (哈尔滨工业大学特种加工与机电控制研究所 哈尔滨 150001) 摘要：微细电解加工是微细加工领域很有发展前景的微细加工技术之一。适合于微细电解加工的装置被研制出来， 它包括机床进给机构、线电极电火花磨削在线制作微细电极装置、短路检测模块、脉冲电源及其他一些辅助装置， 其中，高频窄脉冲电源是微细电解加工最重要的核心技术之一。根据微细电解加工的特点，设计了微细电解加工 MOSFET 脉冲电源，该微能脉冲电源能很好地满足微细电解加工的要求。运用该微细电解加工装置进行加工试验， 在低的加工电压和低的钝化电解液浓度条件下，利用高速旋转的微细电极加工微小孔和像小铣刀一样进行微细电 解铣削加工微结构，得到了满意的工艺效果，因而进一步说明电解加工在微细加工领域很有发展潜力。 关键词：电解加工 微细加工 脉冲电源 微小孔 微结构 中图分类号：TG662 的直接反拷，因此电解加工就会因为难以控制被加 0 前言1 工工件的形状而难以成为微细加工工艺方法。但是， 电解加工是一种基于阳极金属以“离子”形式溶解 近年来，机械电子设备不断地向小型化、微型 去除材料的方法，这在加工机理上为微细加工、超 化方向发展，材料微、纳米级尺寸的加工方法已经 精密加工以至于纳米加工提供了可行依据。在电解 越来越引起人们的关注，尤其是具有优良性能的金 加工中，加工间隙的大小是获得较好形状精度的关 属微细加工(特别是在一些极限作业环境下所要求 键因素，如果能保持很小的加工间隙，就能提高形 的高强度、高韧性、高耐磨、耐高温、耐冲击和抗 状精度，从而使电解加工成为微细加工的手段成为 疲劳等性能的合金材料) 。用传统切削加工方法进行 可能。随着电化学理论的完善、微细加工技术与控 金属微细加工，就会存在刀具制作困难，刀具有磨 制技术的发展和高频、窄脉冲电源在电解加工中的 损和产生切削热等缺点，而且加工时的切削力会使 使用，能大大减小电解加工间隙和加强电解加工集 零件产生变形和在加工过程中所产生的残余应力也 中蚀除能力，使微细电解加工技术在微细加工领域 [1-4] 会影响零件的质量和性能，所以很难胜任金属的微 已成为很有发展前景的技术 。日本学者 细加工。在特种加工方法中，微细电火花加工、激 CHIKAMORI 进行一项研究，从减小加工间隙入手 光束加工、集中离子束加工和电子束加工等都具有 来尝试电解微细加工试验，通过采用脉冲电源、低 很好的微细加工能力，然而微细电火花加工在加工 的加工电压和低的电解液浓度，成功地将加工间隙 [5] 过程中会有工具损耗和产生热影响层，激光束加工 控制在几微米大小 。德国佛里茨 ·哈尔贝尔研究 也会在加工过程中产生热影响层和加工成本较高， 所的R. SCHUSTER 等研究出利用持续时间以纳秒 集中离子束加工和电子束加工均需要在真空中进 计的超短脉冲电压进行电化学微细加工新技术，成 行，设备昂贵，使用受到很多限制。