MEMS产业专刊2018年第12期（总第198期）-扬州.PDF

MEMS 产业专刊 2018 年第12 期（总第198 期） 主办:扬州市科学技术局 承办:扬州市科学技术情报研究所 2018 年06 月12 日 【产业要闻】 中德合建江苏 MEMS 智能传感器研究院 …………………… 1 沪江浙皖成立“长三角协同优势产业基金”聚焦MEMS 等产业… 1 中芯国际 MEMS 集成电路产业化项目正式落地绍兴…………… 2 海鸥集团掌握MEMS 微细加工制造工艺并生产出硅游丝 ……… 2 【热点追踪】 MEMS 创新资源分布及产业扶持政策 ……………………… 3 【产业要闻】 中德合建江苏MEMS 智能传感器研究院 5 月28 日，中德合作新型研发机构江苏MEMS 智能传感器研 究院在南京江宁区正式揭牌。该院由德国国家微电子传感器研究 院、德国国家实验室MEMS 传感器领域资深科学家、德国国家实 验室MEMS 压力传感器领域“领军人物”陈立新博士人才团队共 同出资设立，主要围绕智能工业、智能交通、智能环保等 8 大方 向，构建自主研发、全球合作、高端技术人才等9 大平台，加速 一批传感器、物联网企业在南京形成以研究院为核心的产业生态 圈。目前，江苏MEMS 智能传感器研究院在筹备期间已将海外创 新成果转化为生产线上实实在在的产品，在宁落地的传感器填补 了国际上MEMS 单晶硅传感器的空白，其开发的高精度陶瓷单晶 硅传感器解决方案也在行业内掀起震动，部分成果已与国内外企 业达成研发服务合同。 （信息来源：2018-5-29 《南京日报》） 沪江浙皖成立“长三角协同优势产业基金”聚焦MEMS 等产业 6 月 1 日，由上海国际集团有限公司牵头发起，总规模 1000 达亿元的 “长三角协同优势产业基金”投资意向协议获得签署。 该基金重点布局生物技术、物联网、人工智能等三大面向未来的 产业，带动细胞治疗、抗体药、机器视觉、微机电系统（MEMS ）、 1 人工智能诊断、智能驾驶、机器人等20 多个行业快速迭代，促进 长三角地区形成面向未来的优势产业链集群。 （信息来源：2018-6-2 新浪网） 中芯国际MEMS 集成电路产业化项目正式落地绍兴 5 月18 日，中芯国际正式启动绍兴MEMS 和功率器件芯片制 造及封装测试生产基地，首期投资 58.8 亿元人民。该项目聚焦 MEMS 和功率器件领域，专注于晶圆和模组代工，持续投入研发 并致力于产业化。绍兴8 吋厂预计于2020 年1 月正式投产。 （信息来源：2018-5-18 搜狐网） 海鸥集团掌握MEMS 微细加工制造工艺并生产出硅游丝 近日，天津海鸥表业集团正式为其全国首个钟表行业博士后 科研工作站授牌。海鸥表业现已掌握 MEMS 微细加工制造工艺 并能自主研发生产出硅材料游丝，为国内领先，与瑞士手表制造 行业等国际先进水平同步。海鸥博士后工作站研究课题是： MEMS 技术在机械手表中的应用及产业化，这是机械手表设计 与制造工艺的一项突破性创新。预期目标是：提升海鸥无卡度同 轴陀飞轮手表的精度等级，实现硅材质擒纵调速机构在海鸥高档 手表中的应用。 （信息来源：2018-5-30 电子发烧友网） 2 【热点追踪】 MEMS 创新资源分布及产业扶持政策 一、MEMS 概述 （一）MEMS 定义及特点 MEMS 是英文Micro-Electro Mechanical systems 的缩写，即微 电子机械系统。MEMS 技术是建立在微米/纳米技术基础上的 21 世纪前沿技术，是指对微米