仿壁虎微米粘附阵列制备及柔性触觉关键技术研究精密仪器及机械专业论文.docxVIP

中国科学技术大学博士学位论文 中国科学技术大学博士学位论文 摘要 摘 要 壁虎具有粘附力大、对形貌和材质适应性强、对物体表面无损伤、自沽、 稳定、反复使用等优点。仿壁虎粘附阵列在爬壁机器人粘附爬行机构中具有重要 的应用前景，为了对爬壁机器人爬行时与壁面间的接触力进行有效的控制，需要 在机器人脚掌粘附阵列上集成柔性触觉传感器。 目前关于仿壁虎粘附阵列的制造还是以模版法制造聚合物单层微米阵列为 主。所制作的仿壁虎粘附阵列均不具有触觉功能，对粘附和脱离过程中的粘附力 缺乏有效地监控，不能感知接触状态。而壁虎脚掌是可能存在感受机械刺激的感 受器。因此，本论文以制造集成触觉功能的仿壁虎微米粘附阵列为目标，分析了 模版法制造微米粘附阵列的各种工艺参数对刚毛形貌的影响，建立了粘性聚合物 圆孔流动模型。研究了柔性传感器的混合集成技术，利用柔性电路版和倒装焊技 术实现了三维力传感器的柔性化。 首先分析了对粘附阵列的性能要求和各种工艺参数对粘附性能的影响。然 后针对目前各种制造工艺，分析了其优缺点，最后确定采用模版法制造聚合物微 米粘附阵列，其工艺是采用ICP Bosch深刻蚀技术制造微米孔阵列，注入有机硅， 固化脱模，得到了粘附力佳的大面积柔性微米阵列。 然后分析了聚合物微米粘附阵列制造工艺。首先探讨了气泡的形成及运动 模型，得到了气泡上升终速度的表达式。然后建立了粘性聚合物圆孔流动模型， 得到了聚合物流动时间和流动长度的关系，和流入极限长度的表达式。该模型显 示了粘性聚合物在大气压的驱动下，深入到微米孔底只需毫秒级时间；聚合物的 深入效率随孔径的增大而增大。给出了适合制造刚毛材料的聚合物选择准则。利 用钝化侧壁工艺成功地控制了刚毛顶部形貌。分析了提高脱模效果的各种方法， 针对不能直接脱模的情况，用KOH溶液腐蚀了模版，成功地脱模。 对聚合物刚毛阵列进行了建模仿真和粘附力测试。首先建立了刚毛阵列和 粗糙壁面粘附力模型，然后计算并仿真了阵列粘附力与间距、壁面粗糙度和刚毛 长度的关系。然后用设计的粘附力测量装置，研究了不同条件下阵列的粘附力。 对变化缓慢的大粗糙度表面，测得的粘附力值大于理论值，为此分析了刚毛靠模 模型。最后通过实验考察了微米聚合物粘附阵列的稳定性。 根据航天爬壁机器人应用环境的特点，探索了采用硅材料制造刚毛的工艺， 中国科学技术大学博士学位论文 中国科学技术大学博士学位论文 摘要 结合ICPBosch深刻蚀工艺和SF6各向同性刻蚀工艺，得NT高宽比大、尖端尖 锐的硅刚毛阵列。 针对粘附阵列对触觉感知的需求，研究了柔性传感器的混合集成技术，最 后采用柔性电路版和倒装焊技术实现了三维力传感器的柔性化。建立了E型膜 片的力学模型，进行了有限元和输出信号分析，得出了E型膜片对三维力的响 应。然后进行了传感器单元的工艺制造和标定实验及传感器阵列组装和触觉图片 采集显示。最后初步实现了柔性触觉传感器和粘附阵列的集成，为爬壁机器人提 供了具有触觉感知功能的粘附阵列。 关键词仿壁虎粘附阵列；深刻蚀技术；微流体；MEMS技术；三维力传感器： 柔性传感器 Ⅱ Ph．D Ph．D Dissertation ofUniversity ofScience and Technology ofChina Abstract ABSTR ACT 11蛇gecko adhesion has many advantages，such as the large adhesion force， adaptive to rough surface and materials，harlnless to the contact surface，self-cleaning and durability．Biomimetic gecko adhesive arrays are suitable for adhesive sI矾K血l∞s of wall climb robots．In order to efficiently control the contact force during the attachment and detachment procedure between the robot and the wail surface，it is needed to integrate the adhesive arrays with the flexible tactile sensoL The most developed biomimetie gecko adhesive arrays are single layer sU31ctmes of micro polymer arrays made by mold method．Without the