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纳米级位移分辨率双光栅系统的多普勒分析-光学精密工程
11 1 Vol. 11 No. 1
2 0 0 3 2 Opti s and Pre ision Engineering Feb . 2 0 0 3
1004924X( 2003) 0 1001705
苏绍王景, 刘 辉, 吕海宝, 王跃科
( 国防科学技术大学机电工程与自动化学院, 湖南长沙410073)
: ,
,
, , ,
,
: 多普勒分析; 光栅; 位移测量; 莫尔条纹;
: O436. 1 : A
1 引 言 2 双高线数光栅系统的光路结构[ 1]
,
, , ,
( ) ( Referen e Grating,
, Index Grating) ,
, ,
( S ale Grating)
, ,
, ,
,
,
,
( Haidenhain) ,
(
1 nm) ,
1 500 l / mm
Fig. 1 Mi rostru ture of a 500 l / mm grating
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: ( No . 50 175107)
11
18
Littrow ,
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(3) CC DD ,
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(5) , 123
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Fig. 2 Opti stru ture of a double high_density grating
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