单颗磨粒作用下硼硅酸盐玻璃的亚表面静态裂纹-硅酸盐学报.PDF

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单颗磨粒作用下硼硅酸盐玻璃的亚表面静态裂纹-硅酸盐学报

第 卷 第 期 硅 酸 盐 学 报 ! ! # 6789! *79# ! ! ! ! 年 月 ! $%! # ’()*+,’-./01/2*03010)+4213’120.5 3::=:? $%! ; # !# %$@AB% 9DEEF9$!B!GBH!I@$%!@$#@%K C 单颗磨粒作 用下硼硅酸盐玻璃 的亚表面静态裂纹 % % % % % ! ! ! ! ! 戴子华 朱永伟 居志兰 李 军 孙 韬 左敦稳 ! ! $ ! ! 南京航空航天大学机 电学院 江苏省精密与微细制造技术重点实验室 南京 %@ %$$%H ! % 江苏 中晶光电科技有 限公 司 江苏 常州 @ %K%H! ! $ % ! 摘 要 利用 压痕法模拟研磨抛光过程中单颗磨粒作用于 硼硅酸盐玻璃 工件表面过程 采用 截面腐蚀法测 6DQR:?E Z# /- ! ! ! # 量金刚石压头压入过程中的裂纹深度 探索裂纹深度与载荷 和压头压入深度之 间的关系 借助有 限元 软件 +*353 ,3^\5^ ’ ! *+分析不同载荷下裂纹 的产生 和发展过程 结果表 明 在 $@$#I $@!#$*载荷 范围内 裂纹 以横 向裂纹 为 主 在 $@!# ! !

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