可变温式起高真空扫描探针显微镜管理办法-永续能源与奈米科技研究.DOC

PAGE \* MERGEFORMAT 1 國立中興大學奈米科技中心 可變溫式超高真空掃描探針顯微鏡管理辦法 儀器規格 儀器中文名稱：超高真空掃瞄穿隧顯微鏡 儀器英文名稱： Ultra High Vacuum Scanning Probe Microscope 廠牌及型號：日本 JEOL JSPM-4500A 垂直解析度： STM(0.01nm), AFM(0.1nm) 水平解析度： STM(0.14nm), AFM(0.1nm) 樣品大小： 1~2mm(Width), 7~10mm(Length) , 0.3~0.4mm(Thickness) 樣品偏壓： 0 to +10V 溫度範圍： 20~1500K 幫浦系統： Ion, Turbo Molecular, Rotary and TSP pumps 真空壓力： 1x10-8 Pa 掃瞄速度： 0.8ms/line to 5s/line (in 16 steps) STM tip material：W or PtIr AFM cantilever material：Si 3 N 4 or Si Tunneling current(STM)：50pA to 1μA Atomic force(contact mode)：10pN to 10nN Frequency shift(non-contact mode)：10 to 3000 Hz 開放時段 　 一 二 三 四 五 9:00~12:00 儀器維護 執照操作 委託操作 執照操作 執照操作 午休 14:00~17:00 委託操作 執照操作 委託操作 執照操作 儀器維護 註：目前夜間、週六、日及國定假日，僅開放甲級執照預約使用。 使用規則 1. 基於超高真空系統與儀器本身特性的限制，本儀器之使用需先向負責管理單位提出使用說明，說明內容需包含樣品種類、分析項目、一季所需時段、，經諮詢教授會議後排定預約時間。洽詢電話：(04ext. 301 2. UHV-SPM提供粗糙度不超過1μm的試片掃瞄。注意試片之潔淨度以免造成污染。除此之外，嚴禁使用本機台。 3. 使用機台，請確實在登記使用記錄簿，詳細記錄使用樣品，時間，陪同人員。 4. 未確實填寫使用記錄簿者，一經查獲，取消其使用權。 4. 本儀器目前由專門技術人員操作，授權人士方得使用，未經授權人士，需由使用者全程陪伴，並由使用者詳細記錄。 5.機台採使用時間採事先預約制，使用者可在預約登記簿上預約使用時段，凡預約者，需準時到達使用，若遲到30分鐘，取消該時段預約權，開放他人使用，超過三次預約不到者，取消其預約使用權，未預約者，可使用未被預約時段，若該時段已被預約，需等待預約者使用完畢，方可使用。 6.完全依據使用程序，並詳細填寫實驗記錄簿，各項使用不得省略步驟。 7.異常狀況發生無法操作時，立刻通知機台管理者，並由使用者將異常狀況登記在使用登記簿上，絕不可任意採取維修行動。 8.使用機台，均需使用手套，禁止徒手執行。 9.機台專屬工具及零件，僅供機台操作使用，不得私自帶走。工具用品使用過後，請清潔乾淨歸回原位，並將垃圾收拾乾淨。 10.參數的調整僅由進階授權使用者操作，均需詳實記錄，一般使用者嚴禁任意使用。 11.研究用品，小心使用。 樣品準備 待測樣品為粉末或有鬆動及脫落的情形，本中心恕不服務。 所檢測之樣品材質需自行處理完整，如因使用者樣品問題而造成無法完成檢測的情況，使用者需自行負責。 樣品說明文件請盡量註明樣品材料、大小、形狀、製備方法，希望得到的結果等。 樣品限制： 最大平面掃描範圍：5 × 5μm 需切割成平板狀 {樣品大小：1~2mm(Width), 7~10mm(Length) , 0.3~0.4mm(Thickness)} 揮發性試片等會污染腔體之樣品禁止使用 STM不適用於絕緣樣品 AFM則無限制，但由於本機台為超高真空，所以生物樣品需經特殊處理 固態片狀材料，最大高度落差 2μm 操作環境：10-10Torr 收費方式 本收費標準99/1/1起生效 現場繳費。 可變溫式超高真空掃描探針顯微鏡收費方式 費用 (因屬超高真空設備，樣品準備時間列入基本費，再依實際使用時數計價) 收費別 校內執照使用者 校內使用者 外校使用者 產業檢測 說明 基本費 1000 1200 1500 3000 每次開機可使用一小時，第二小時開始計算時數費，未滿一小時以一小時計費。 使用費 250/hr 500/hr 600/hr 1800/hr 基本費：包含儀器維護、物料及消耗器材 使用費：包含人工費、技術指導及儀器折損費 會員優惠制：凡加入會員者可享八折之優惠，但需預繳9000元之使用費(可扣抵使用時數)。 學術獎勵制： a. 學術創新獎勵：學術創新獎勵