超硬薄膜制备技术与性能表征方法的研究进展-表面技术.PDF

摇 第41卷摇 摇 第6期摇 摇 2012 年12 月 表面技术 摇 摇 摇 Vol.41摇 No.6摇 Dec.2012 SURFACE TECHNOLOGY 摇摇摇 99 超硬薄膜制备技术与性能表征方法的研究进展 郑凤新 (济宁技师学院,济宁272013) 摇 摇 [摘摇 要]摇 超硬薄膜能够显著提高材料的关键服役性能。 系统总结了超硬薄膜的硬化机制、制备技术以及 性能表征方法,分析了制备技术和性能表征方法的优缺点,指出了超硬薄膜研究发展的方向。 [关键词]摇 超硬薄膜;制备技术;性能表征 [中图分类号]TG174.444 摇 摇 摇 [文献标识码]A 摇 摇 摇 [文章编号]1001鄄3660(2012)06鄄0099鄄05 Progress in Research of Fabrication Technology and Property Characterization of Super Hard Nanocomposite Films ZHENGFeng鄄xin (Jining Technician College,Jining272013,China) [Abstract]摇 Super hard nanocomposite films have beenusedto improve servicebehavior of workpiece duetotheir excel鄄 lent mechanical andchemical properties. The state鄄of鄄the鄄art of hardenmechanisms,fabricationtechniqueandproperty charac鄄 terization of superhardnanocompositefilmswerereviewed. Theadvantagesanddisadvantagesoffabricationtechniqueandprop鄄 erty characterization were analyzed. The developing directions of super hard nanocomposite filmswere proposed. [Key words]摇 super hard films;fabrication technique;property characterization 摇 摇 工件的破坏失效大多起源于材料表面服役性能的 表示为:nc鄄M N(C)/ a鄄Si N (和/ 或 a鄄SiC) (M 代表 n 3 4 不足。 提高材料表面耐磨性、抗腐蚀性以及抗氧化性 Ti,W 或 V)。 以TiAlN,SiCN,TiBN,TiAlSiN,TiSiCN, 能等,是改善工件服役行为的有效途径。 传统的表面 TiAlSiCN等碳化物、硼化物、氮化物等为代表的超硬薄 强化技术,例如电镀、化学镀及化学热处理等,虽可解 膜合成技术及薄膜微结构、力学性能和高温热稳定性 决部分问题,但难以从根本上满足工件的高速、重载、 的研究取得了显著成果。 [1] 长寿命要求 。 硬质膜层,尤其是硬度大于40 GPa 的 超硬薄膜,作为改善工件表面性能的有效手段,备受材 1摇 超硬薄膜制备技术 料界的关注。 [2] 1989年,Liu和Cohen 以第一性原理赝势能带理 超硬薄