飞秒激光微加工中热熔化与热传递现象研究-农业机械学报.PDF

２０１１年 ４月 农 业 机 械 学 报 第 ４２卷 第 ４期 飞秒激光微加工中热熔化与热传递现象研究 １ ２ １ １ １ 苗恩铭 　陈盨欣 　牛鹏程 　颜　焱 　费业泰 （１．合肥工业大学仪器科学与光电工程学院，合肥 ２３０００９；２．合肥工业大学机械与汽车工程学院，合肥 ２３０００９） ２ 　　【摘要】　对飞秒激光能量密度为０１０８～２８６８Ｊ／ｃｍ 范围内加工的硅孔表面形貌尺寸进行分析，同时对热传 递现象进行研究。理论分析了飞秒激光加工区域热传导时间及温度分布，并将其与实验测量值进行对比，验证了 热影响的存在。通过理论与实验分析说明了在高能量飞秒激光加工中热传递现象不可避免，并获得了较好的孔加 工质量的激光能量合理参数。 关键词：飞秒激光　熔化　热传递　激光能量密度 中图分类号：ＴＮ２４；ＴＧ６６５ 文献标识码：Ａ 文章编号：１０００１２９８（２０１１）０４０２２４０５ ＴｈｅｒｍａｌＤｉｆｆｕｓｉｏｎａｎｄＴｈｅｒｍａｌＭｅｌｔｉｎｇｉｎＦｅｍｔｏｓｅｃｏｎｄＬａｓｅｒＭｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｉｎｇ １ ２ １ １ １ ＭｉａｏＥｎｍｉｎｇ　ＣｈｅｎＳｕｘｉｎ　ＮｉｕＰｅｎｇｃｈｅｎｇ　ＹａｎＹａｎ　ＦｅｉＹｅｔａｉ （１．ＳｃｈｏｏｌｏｆＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔａｎｄＯｐｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＨｅｆｅｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｈｅｆｅｉ２３０００９，Ｃｈｉｎａ ２．ＳｃｈｏｏｌｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌａｎｄＡｕｔｏｍｏｔｉｖｅＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＨｅｆｅｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｈｅｆｅｉ２３０００９，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ Ｄｉａｍｅｔｅｒｓｏｆｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙｚｏｎｅｓｏｆｃｒａｔｅｒｐｒｏｃｅｓｓｅｄｂｙｆｅｍｔｏｓｅｃｏｎｄｌａｓｅｒｗｅｒｅｍｅａｓｕｒｅｄｉｎｔｈｅｒａｎｇｅ ２ ２ ｏｆｌａｓｅｒｆｌｕｅｎｃｅｆｒｏｍ０１０８Ｊ／ｃｍ ｔｏ２８６８Ｊ／ｃｍ．Ｔｈｅｒｍａｌｍｅｌｔｉｎｇｏｎｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｏｆａｈｏｌｅａｎｄｔｈｅｈｅａｔ ｃｏｎｄｕｃｔｉｏｎｒｕｌｅｗｅｒｅｓｔｕｄｉｅｄ．Ｔｈｅｍｅｌｔｉｎｇｚｏｎｅｓｗｅｒｅｃａｌｃｕｌａｔｅｄａｃｃｏｒｄｉｎｇｔｏｔｈｅｔｒａｄｉｔｉｏｎａｌｔｈｅｒｍａｌ ｃｏｎｄｕｃｔｉｏｎｆｏｒｍｕｌａ．Ｔｈｅｃａｌｃｕｌａｔｅｄｒｅｓｕｌｔｓｍａｔｃｈｅｄｗｉｔｈｔｈｅｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔｒｅｓｕｌｔｓｖｅｒｙｗｅｌｌ．Ｉｔｓｕｇｇｅｓｔｅｄ ｔｈａｔｔｈｅｔｈｅｒｍａｌｄｉｆｆｕｓｉｏｎｉｎｓｕｐｅｒｐｏｗｅｒｆｅｍｔｏｓｅｃｏｎｄｌａｓｅｒｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｉｎｇｗａｓｉｎｅｖｉｔａｂｌｅ．Ｂｅｓｉｄｅｓ， ｒｅａｓｏｎａｂｌｅｐａｒａｍｅｔｅｒｓｗｅｒｅａｃｑｕｉｒｅｄｆｏｒｔｈｅｂｅｔｔｅｒｑｕａｌｉｔｙｏｆｔｈｅｍｉｃｒｏｈｏｌｅｓ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ　Ｆｅｍｔｏｓｅｃｏｎｄｌａｓｅｒ，Ｍｅｌｔｉｎｇ，Ｈｅａｔｃｏｎｄｕｃｔｉｏｎ，Ｌａｓｅｒｆｌｕｅｎｃｅ 激光加工中热传递规律，得到不同脉冲飞秒激光的 　　引言 最佳激光能量范围，以提高孔的加工质量。 随着现代工业和科技发展，飞秒激光在微电子 １　实验装置 机械系统制造、医疗、微电子等领域的应用越来越深 入和广泛［１～７］。由于飞秒激光加工的材料受热影响