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一种基于DVD读取头非接触触发探头 摘要：文章提出了一种基于DVD原理的非接触光学聚焦 探头，它由商用DVD读取头改装而成，已经完成设计与制作。 实验结果表明，此非接触探头分辨率优于lnm,测量重复性 可达12 nmo目前此非接触触发探头已应用于纳米三坐标测 量机上。 关键词：DVD光学读取头；非接触探头；纳米三坐标测 量机 中图分类号：TH741文献标识码：A A Non-contact Trigger Probe Based on DVD Pick-up Head GAO Wei, CHEN Xiao-huai, CHEN He (School of Instrument Science and Opto-electric Engineering, Hefei University of Technology, Hefei Anhui 230009, China) Abstract : This paper presents a non-contact trigger probe based on the commercial DVD pick-up head? The focus sensor and the mechanism have been designed and manufactured. Experimental results show that the non-contact trigger probe can obtains lnm resolution and a. repeatability of 12nm. The non-contact trigger probe can be used on a micro/nano CMM. Keywords： DVD optical pickup head； non-contact probe； Nano-CMM 引言 近年来，微纳米三坐标测量机整机及其接触式探头技术 得到了快速发展，世界上许多国家和地区的研究机构都公布 了自己研制的三坐标触发探头，比如德国PTBE1-2］,英国国 家物理实验室［3-4］.荷兰Eindhoven大学［5-6］、台湾大学 ［7］、合肥工业大学［8］等。 本研究采用日立公司的DVD读取头HOP-1000作为开发 对象，如图1所示，应用于纳米三坐标测量机非接触触发探 头上，并对其运作机理以及测量原理进行了应用性研究。 1 DVD激光读取头聚焦原理 DVD激光头组件中包括激光二极管，为读取头提供稳定 的测量用激光光源；光学组件中包括穿透式光栅、分光镜、 四分之一波片、聚焦物镜、光电传感器等，光电传感器将光 信号转换为电信号，由光电传感器输出的电压信号的强弱可 判断出入射光的光强度［9］。本研究中所使用的DVD激光头 的内部传感器由四片面积相同且光电形式相同的光电传感 器所组成，称为四象限传感器(Quadrant detector)。当光 点打在检测器上时，光点落在各检测组件上的能量不等，因 此其信号输出也不同，利用电子线路，比较各检测组件的输 出，就可获知光点位置差。激光读取头就是利用四象限传感 器来侦测四个象限分别的感光强度，并进而经由后续的电路 信号来计算聚焦误差信号(focus error signal, FES)。 激光读取头的聚焦光点大小及品质决定资料读取的正 确性，同时也影响聚焦误差信号FES的判断，决定了我们在 测量应用时的精度。本研究中所使用的DVD读取头性能参数 有：NA=0. 6, X =650nm,光点直径约为 0. 86umo DVD激光读取头的聚焦原理为像散法(Astigmatic Method)o像散是指光线经过像散透镜，造成成像时横向与 纵向的放大率不同，因此造成像点的失真。利用此像散特性 作为测量依据，并结合感测组件四象限传感器，当透镜的垂 直焦距与水平焦距不同，如图2所示，则物体若偏离透镜前 焦平面位置时，在四象限光传感器上的成像光点呈现椭圆变 化，当物体处于透镜的正焦平面位置时，成像光点呈现圆形 (FES=0),经信号处理，即四象限的(A+C) - (B+D),失焦 信号对失焦位移量的关系成一曲线，即所谓的S曲线，如图 2所示。 2 DVD激光探头系统测量原理 2. 1 DVD读取头运作原理 如图3所示，激光二极管在加电以后发射约为0. 5mW的 650nm波长红激光光束，经光栅衍射后形成三束检测光，再 经分光镜、反射镜、准直透镜，将激光束变成准直光束。准 直光束经过镜片中央呈现有间隔几十数百微米同心圆沟槽 的全息透镜后，使准直激光束聚焦成适合DVD光盘信息读取 的焦点。经光盘反射的光束沿圆光路再经过准直透镜、反射 镜和分光镜后穿越柱面像散透镜，投射到四象限光电二极管 传感器 (four-q