硅片切割废料回收碳化硅粉体的研究-材料学专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成 果。尽我所知，除文中已经标明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发 表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标 明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。 学位论文作者签名： 日期： 年 月 日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，即：学校有权保留并 向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本人授权青 海大学大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影 印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。本论文属于：保密□不保密□（请在相 应方框内打“√”），在 年解密后适用本授权书。 学位论文作者签名： 指导教师签名： 日期： 年 月 日 日 期 ： 年 月 日 青海大学硕 青海大学硕士学位论文 摘 要 摘 要 硅片是半导体、太阳能等行业的基本材料，在硅片切割加工的废料中，含 有大量的碳化硅、硅粉和铁屑。从该废料中回收经济价值较高的碳化硅，可回 用于硅片切割，也可用于制造半导体、陶瓷等。 首先，本文通过酸碱提纯法对废料进行提纯实验研究，分别探讨了废料酸 洗除杂过程中各因素(酸的浓度、液固比、反应时间、反应温度)以及碱洗除杂 过程中各因素(碱液的种类、碱液的浓度、液固比、反应时间、反应温度)对碳 化硅纯度的影响。通过实验得出以下结论：酸洗条件：酸的浓度为 3.0mol/L、 液固比为 2.0:1mL/g、反应温度为 60℃、反应时间为 50min。碱洗条件：NaOH 溶液浓度为 15%，液固比为 2.5:1mL/g，反应温度为 50℃，反应时间为 8min。 提纯后碳化硅的纯度达到 99.44%。同时，对废料固体组分中杂质铁与盐酸的反 应动力学进行了研究，并获得了动力学参数。结果表明，该反应过程符合流-固 相非催化反应中的收缩未反应芯模型，该过程的控制步骤为流体滞流膜控制。 其次，本文通过泡沫浮选法对废料进行提纯实验研究，通过捕收剂的初选 和终选，确定以煤油做捕收剂进行浮选。研究了捕收剂浓度、pH 值、固液比及 粒度对分离效果的影响。当捕收剂用量为 50mL/g、pH 值为 8.3、固液比为 3:400g/mL、粒度为 8.636μm 时，分离效果最佳，此条件下回收的碳化硅纯度为 99.08%。同时对浮选机理进行了研究，利用浮选前后物质的红外光谱分析可知 煤油和碳化硅的吸附形式主要为物理吸附。 关键词： 废料 酸碱提纯 泡沫浮选 回收 碳化硅 I 青海大学 青海大学硕士学位论文 Abstract Abstract Silicon wafer is the basis material of semiconductor, solar energy and other industries. The waste from cutting silicon wafer contains of a lot of silicon carbide particles, silicon powder and scrap iron. High economic value of silicon carbide recycled from this waste can be reused in wafer cut, manufacture of semiconductors, ceramics, etc. Firstly, acid-base purification method is used to purify the waste, and the paper discess the effect of silicon carbide purity from pickling factors(concentration of acid, liquid-solid ratio, the reaction temperature, reaction time) and alkaline cleaning factors(the type and concentration of alkali solution, liquid-solid ratio, reaction time, reaction temperature). The following conclusions from experiment: under pickling conditon: 3.0mol/L of hydrochloric acid concentration, 2.0:1mL/g of liquid-