交错式无心滚动微细超硬合金微米加工-eTop-工程科技推展平台.PDF

行政院國家科學委員會專題研究計畫 成果報告 交錯式無心滾動微細超硬合金微米加工 研究成果報告(精簡版) 計 畫 類 別 ： 個別型 計 畫 編 號 ： NSC 99-2221-E-150-014- 執 行 期 間 ：99年08月01日至 100年07月31日 執 行 單 位 ：國立虎尾科技大學動力機械工程系 計 畫 主 持 人 ： 黃俊德 計畫參與人員： 碩士班研究生-兼任助理人員：廖定豐 碩士班研究生-兼任助理人員：張義偉 處 理 方 式 ： 本計畫涉及專利或其他智慧財產權，2年後可公開查詢 中 華 民 國 100 年 10月 28 日 行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告 國科會專題研究計畫成果報告撰寫格式說明 Preparation of NSC Project Reports 計畫編號 ：NSC 99-2221-E-150-014 執行期限 ：99年8月 01日至 100年7月 31日 主持人：黃俊德 執行機構及單位名稱 ：國立虎尾科技大學 計畫參與人員 ：張義偉 、廖定豐執行機構及單位名稱 ：國立虎尾科技大學 一、中文摘要 元件加工期間穩定夾持下，可加工高同心 目前工業使用超硬合金微元件的場 度 、高精度及鏡面之完成件 ，加工精度佳 、 合非常普遍 ，如晶片電性量測所需用到的 幾何外型易掌握，成品達到精密尺寸要求。 微探針 ，其針頭相當微細且有特殊外型之 要求 ；另外 ，封裝製程中之打線用陶瓷或 關鍵詞 ：超硬合金微元件 、精微研磨 、交 超硬合金金屬製作銲針、洗腎用超硬陶瓷 錯式無心滾動夾持 、陶瓷銲針 針、頂出晶片用耐磨耗超硬合金頂針等 ， Abstract 目前以燒結製程為主 ，製造成本高、加工 A new method for inducing a micropin 材料受限；此外，對於導電的碳化物超硬 spindle through the intersection-roller to 合金 亦可以放電加工製程製作微細元 件 ，然而，除加工速度相對較慢 ，增加加 micro-fabricate of precision grinding on the 工成本外，放電所引起的變質層對微細元 super hardness materials is proposed in the 件的電性將有相當決定性的影響 ；電解是 project. The validity of the method will be 原子級加工 ，其加工表面光滑且製作速度 confirmed experimentally. In the project, 快速 ，然而，超硬合金的電解液配方難以 focusing on the development of the new 取得 ，且加工精度不易掌握；超音波輔助 rotary spindle based on the