光电测微系统的研究-电力电子与电力传动专业论文.docxVIP

华中科技大学硕士学位论文摘要 华中科技大学硕士学位论文 摘要 0随着加工水平的提高，表面粗糙度测量技术越来越受到人们的重视。以往在表面 粗糙度测量中采用的触针式轮廓仪在测量时要接触被测表面，会对被测表面造成损伤。 在非接触测量的仪器中，光探针测量仪器颇具发展潜力。现有的光针式测量仪器中一 类采用静态聚焦误差检测，可以高速测量物体表面粗糙度，但垂直测量范围非常有限， 不能满足工业现场中对普通工件表面粗糙度的测量：另一类采用动态聚焦误差检测， 虽然垂直测量范围大大增加，但受到音圈电机响应频率的限制，无法完成高速测量。 为此，在广泛搜集国内外研究成果的基础上J本文提出了基于动态聚焦误差检测和静 7 态聚焦误差检测相结合的光电测微系统。 本文通过对激光波长、数值孔径、聚焦误差检测方法、输出特性等参数的比较后， 选用KSS--213C激光头作为光电测微系统的信号采集器件。在推导音圈电机数学模型 的基础上，通过实测音圈电机的幅频和相频响应特性，系统辨识出音圈电机实际数学 模型的参数。详细介绍了音圈电机的伺服控制系统并用Matlab软件进行了仿真。设计 了DSP系统并实现了数字滤波和音圈电机的PID控制。本文试制了一套能快速测量纸 张等软质物体表面粗糙度的实验装置，测试了整个系统的开环特性，并完成了闭环实 验。 由于激光头的动态测量范围不能满足测量的要求，本文提出了四种增大激光头动 态测量范围的方案，重点探讨了换用大面积四象限探测器的方案。但由于实验条件和 加工工艺的限制，该方案尚处于试验阶段。为完成测微系统，提出了后期努力的方向。 关键词：表面粗糙度，光电测微系统，聚焦误差检测，音圈电机，聚焦伺服控制，DSP 华中科技大学硕士学位论文Abstract 华中科技大学硕士学位论文 Abstract As the improving of machining，surface roughness measuring technique has been recognized more and more important．To measure the roughness，the stylus apparatus will contact the surface of the object and hurt the surface．Among non．contacting apparatus， optical stylus sensor has the largest potential．But among the existing optical stylus sensors， one class use static state foCUS error detection。They Can measure the roughness quickly，but its vertical measurement ranges is small and cannot satisfed with the roughness measurement of common WOrkpiece in the industrial field．nle other class use dynamic foCUS error detection．Its vertical measurement ranges improved greatly．Though it’S limited by the resonance疔equency of the voice-coil motor(vcM)and car]not measLtre quick】y．So， t11rough collecting and studying the research achievement．a new ph()toelectric surface topography micrometer based on static state and dynamic foCtlS error detection is proposed in tiffs thesis． KSS一213C optical head is selected in the new micrometer through comparing the parameter ofthe optical head such as the laser wavelength，numerical aperture(NA)，method of foCIIS error detectiom output characteristics．nle mathematicaI model of VCM iS presented．111e facture ma