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万方数据
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国防科学技术大学研究生院硕士学位论文
国防科学技术大学研究生院硕士学位论文
目 录
摘 要 i
ABSTRACT iii
第一章 绪 论 1
1.1 课题研究背景 1
1.2 国内外发展现状 2
1.2.1 国外发展现状及趋势 2
1.2.2 国内发展现状及趋势 2
1.3 研究内容及组织结构 4
1.3.1 主要研究内容 4
1.3.2 论文组织结构 4
第二章 CCD 图像传感器基础 6
2.1 CCD 的基本结构 6
2.1.1 微透镜 7
2.1.2 二氧化硅光学增厚层 7
2.1.3 遮光钨层 8
2.1.4 多晶硅电极 9
2.1.5 二氧化硅绝缘层 9
2.1.6 基底掺杂结构 10
2.2 CCD 工作的基本原理 11
2.2.1 信号电荷的产生 11
2.2.2 信号电荷的收集 12
2.2.3 信号电荷的转移 12
2.2.4 信号电荷的传输 13
2.2.5 信号电荷的检测 15
2.3 小结 15
第三章 激光辐照 CCD 实验 17
3.1 纳秒单脉冲激光辐照损伤 CCD 实验 17
3.1.1 激光参数和光路设置 17
3.1.2 损伤结果 18
3.2 皮秒单脉冲激光辐照损伤 CCD 实验 18
3.2.1 激光参数和实验光路 18
第 I 页
万方数据
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3.2.2 损伤结果 19
3.3 飞秒单脉冲激光辐照损伤 CCD 实验 19
3.3.1 激光参数和实验光路 19
3.3.2 损伤结果 20
3.4 损伤阈值总结 21
3.5 小结 22
第四章 激光辐照 CCD 形成的光场分布模拟 24
4.1 激光辐照光场的模拟 24
4.2 模拟结果与实验结果的比较 27
4.3 小结 28
第五章 飞秒激光辐照 CCD 的损伤机理 30
5.1 点损伤机理 30
5.2 线损伤机理 35
5.3 完全损伤机理 36
5.4 小结 38
第六章 纳秒和皮秒激光辐照 CCD 的热损伤机理 39
6.1 激光辐照损伤 CCD 的热传导模型 39
6.2 纳秒激光辐照 CCD 的损伤机理 41
6.2.1 纵向的温度分布 41
6.2.2 横向的温度分布 41
6.2.3 损伤机理分析 43
6.3 皮秒激光辐照 CCD 的损伤机理 44
6.3.1 损伤机理分析 44
6.3.2 CCD 完全损伤后的显微观测结果 44
6.4 小结 46
第七章 结论与展望 47
7.1 结论 47
7.2 展望 48
致 谢 49
参考文献 50
作者在学期间取得的学术成果 54
第 II 页
万方数据
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表 目 录
表 1 不同激光类型造成 CCD 不同破坏状态的能量密度阈值对比 22
表 2 不同损伤状态下,垂直电极与基底间电阻的变化(单位:M?) 34
表 3 材料的热物性参数 41
万方数据
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图 目 录
图 2.1 CCD 截面图及材料分布示意图 6
图 2.2 微透镜表面图像,右侧标注为高度 7
图 2.3 二氧化硅表面结构的 AFM 图像 8
图 2.4 (a)CCD 遮光层形貌图;(b)遮光层材料能谱分析数据 8
图 2.5 面阵 CCD 表面硅电极与时钟线分布情况 9
图 2.6 遮光钨、多晶硅电极、二氧化硅绝缘层与基底材料 9
图 2.7 面阵 CCD 基底表面的 SEM 图像 10
图 2.8 硅单晶的吸收系数曲线 11
图 2.9 CCD 芯片中收集电荷的一般结构 12
图 2.10 信号电子从感光区转移到传输势阱的示意图 13
图 2.11 信号电荷转移示意图 14
图 2.12 CCD 单个象元的信号电子经过垂直和水平时钟电压控制读出过程 14
图 2.13 浮置扩散放大器原理结构图 15
图 3.1 纳秒激光辐照损伤 CCD 实验系统 17
图 3.2 纳秒单脉冲损伤的 CCD 输出图像与对应的激光能量密度 18
图 3.3 皮秒激光损伤 CCD 实验系统 19
图 3.4 皮秒单脉冲激光辐照损伤的 CCD 输出图像和相应的能量密度 19
图 3.5 飞秒激光辐照损伤 CCD 实验光路 20
图 3.6 激光辐照损伤稳定性测试。能量密度为 5.0mJ/cm2 21
图 3.7 飞秒激光辐照损伤 CCD 的输出图像与相应的能量密度 21
图 3.8 三种脉宽激光对 CCD 造成三个阶段损伤的阈值分布曲线 22
图 4.1 激光辐照 CCD 经过的路径 24
图 4.2 单个微透镜 AFM 图像 24
图 4.3 微透镜表面曲线模拟。a,横向曲线模拟;b,纵向曲线模拟 25
图 4.4 微透镜高度分布模拟图示 25
图 4.5 CCD 截面扫描电子显微镜图像 25
图 4.6 光束偏折图示 26
图
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