精密仪器设计 王智宏7第三章3.pptVIP

光学双通道差动法测量透射率 再见！ 重点和难点：最小变形原则的分析和应用。 （1） 提高受力件的刚度，选择合理的截面积，直接减少受力件的变形。 （2） 合理布局，避免经过变形环节。如：线纹尺的刻线刻在其中性面上，支点在贝塞尔点上（相距5/9全长），使之变形最小。 （3） 采用调整装置或预变形法来消除仪器工作时力变形的影响。 （4） 采用补偿法和结构设计消除结构的力变形的影响。 * 在底座1上有沿导轨移动的工作台4和测量头架3，以及固定其两端的尾座和干涉仪厢体。 测量头架的主轴与可动角隅棱镜12固结在一起，可相对头架移动轴向距离±5mm。 尾座尾杆轴线与头架主轴共线，固定角隅棱镜9固定在尾架上，其锥顶与主轴共面。 * 在底座1上有沿导轨移动的工作台4和测量头架3，以及固定其两端的尾座和干涉仪厢体。 测量头架的主轴与可动角隅棱镜12固结在一起，可相对头架移动轴向距离±5mm。 尾座尾杆轴线与头架主轴共线，固定角隅棱镜9固定在尾架上，其锥顶与主轴共面。 * 在底座1上有沿导轨移动的工作台4和测量头架3，以及固定其两端的尾座和干涉仪厢体。 测量头架的主轴与可动角隅棱镜12固结在一起，可相对头架移动轴向距离±5mm。 尾座尾杆轴线与头架主轴共线，固定角隅棱镜9固定在尾架上，其锥顶与主轴共面。 * 在底座1上有沿导轨移动的工作台4和测量头架3，以及固定其两端的尾座和干涉仪厢体。 测量头架的主轴与可动角隅棱镜12固结在一起，可相对头架移动轴向距离±5mm。 尾座尾杆轴线与头架主轴共线，固定角隅棱镜9固定在尾架上，其锥顶与主轴共面。 （1）采用恒温条件，减少温度变化量。 （2）选用合适的材料，减少线膨胀的影响。如选用线胀系数相反的材料在某些敏感环节补偿热变形误差。 （3）利用温度误差修正值进行补偿。如测出被测件与标准件的温度 、 以及二者线胀系数 、 ，则 ，对测量值进行修正。 * 常见的形式： Ii:信号光线 I0：同一光源的恒定光线 消除温度、光源亮度变化对电信号的影响 线圈匝数、空气磁导率、空气间隙的截面积、空气间隙 Sd:标准样品，已知固定透射率 Md：被测样品 输出=KMSΦ（τs- τ d） * 第三章 精密仪器总体设计 教学要求：了解精密仪器设计的基本原则，掌握精密仪器的设计原理和总体设计内容，熟悉精密仪器的总体设计过程。 教学内容 3-1 总体设计的相关知识 3-2 总体设计内容 3-3 总体设计举例 第一节 总体设计的相关知识 1、总体设计的前提条件 2、设计原则 3、设计原理 二、设计原则 （1）阿贝原则 （2）变形最小原则 （3）其它原则 （二）变形最小原则 1、原则 2、减少力变形影响的技术措施 举例： 1m激光测长机 3、减少热变形影响的技术措施 举例：扩散电阻电桥零点漂移的补偿 1．变形最小原则 在仪器工作过程中，应尽量避免因受力或因温度变化而引起的仪器结构变形或仪器状态和参数的变化，并使之对仪器精度的影响最小。变形包括： 力变形。如：仪器承重（测量力）。 温度变形。如：温度变化引起仪器或传感器结构参数变化，导致光电信号的零漂及系统灵敏度的变化。 变形是客观存在的，∴应采取必要的措施减少其对仪器精度的影响。 2．减少力变形影响的技术措施 （1） 提高受力件的刚度，选择合理的截面积。 （2） 合理布局，避免经过变形环节。 （3） 采用调整装置或预变形法。 （4） 采用补偿法和结构设计。 举例：1m激光测长机 底座 干涉仪厢体 测量头架 工作台 尾座 电机与变速箱 闭合钢带 电磁离合器 固定角隅棱镜 尾杆 测量主轴 可动角隅棱镜 激光器 分光器 h 光路 激光器?2个反射镜?分光镜14，分为两路： 测量光路：?可动角隅棱镜12返回，光程= 2(分光镜14?棱镜12距离)； 参考光路： ?反射镜?固定角隅棱镜9 ?反射镜?分光镜， 光程=2(反射镜?棱镜9+反射镜?分光镜距离) (2n(s+d))。 对零 测量 测量 a.对零：移动头架3使测量主轴11在一定作用力下与尾杆10接触。此时，两路光程差: b.读数：移动头架3，将工件放在工作台上，并夹在尾杆与头架主轴之间。此时两路光程差 : 则读数为测量时干涉条纹相对于对零的变化数m，即： ∴ 举例：1m激光测长机 底座 干涉仪厢体 测量头架 工作台 尾座 电机与变速箱 闭合钢带 电磁离合器 固定角隅棱镜 尾杆 测量主轴 可动角隅棱镜 激光器 分光器 h 问题：1m激光测长仪 1、是否符合阿贝原则？ 2、基准部件是什