薄膜的形成与生长.pdf

薄膜的形成与生长 2015-12-2 1 凝结过程 2 晶核形成与生长过程 3 薄膜的形成与生长过程 4 溅射薄膜的生长特性 薄膜的形成过程一般分为：凝结过程、晶核形成与生长过程、薄 膜的形成与生长过程。 3 一、凝结过程 （一）吸附过程： 原子或分子间结合的化学键在固体的表面中断，形成的中断键称为 不饱和键或悬挂键。这种键具有吸引外来原子或分子的能力。入射到基 体表面的气相原子被这种悬挂键吸引住的现象称为吸附。 4 一、凝结过程 （一）吸附过程： 固体表面上的原子或分子受到的力是不平衡的，这使得固体表面具 有表面自由能。吸附现象会使表面自由能减小。伴随吸附现象的发生而 释放的一定的能量称为吸附能。将吸附在固体表面上的气相原子除掉称 为解吸，除掉被吸附气相原子的能量称为解吸能。 从蒸发源入射到基体表面的气相原子到达基片表面之后可能发生如 下三种现象： （1）与基体表面原子进行能量交换被吸附 （2）吸附后气相原子仍有较大的解吸能，在基体表面作短暂停留后 再解吸蒸发(再蒸发或二次蒸发) （3）与基体表面不进行能量交换，入射到基体表面上立即反射回去。 5 一、凝结过程 （一）吸附过程： 若吸附仅仅是由原子电偶极矩之间的范德华力起作用称为物理吸附； 若吸附是由化学键结合力起作用则称为化学吸附。吸附过程的能量曲线如 图所示。 （1）当入射到基体表面的气相原子动能较小时，处 于物理吸附状态，其吸附能用 表示; （2）当入射到基体表面的气相原子动能较大但小于 或等于时，可产生化学吸附; （3）达到完全化学吸附，气相原子所具有的动能必 须达到的数量，与的差值 称为化学吸附热。 只有动能较大的气相原子才能和基体表面产生化 学吸附；但是当这种气相原子具有的动能大于时， 它将不被基体表面吸附，通过再蒸发或解吸转变为气 相。因此又称为解吸能。 6 一、凝结过程 7 一、凝结过程 （一）吸附过程： 吸附的气相原子在基体表面上的平均停留时间 与吸附能 之间的关 系为   exp E (kT ) a 0 d 式中 为单层原子的振动周期，数值大约是10−14～10−12秒，为玻耳 0 兹曼常数，为热力学温度。 在室温下，不同吸附能 与平均停留时间 间的关系如表所示。从表 中可以看出，当 大于20/时， 值急剧增大。