00077 附录7洁净区环境监测要求.docVIP

附录7 ??????????????????????? 洁净区环境监测要求 监测项目 技术要求 监测方法 监测频次 温度 18～28 OC（十万级、三十万级） JGJ71-90 1次/班 湿度 45～65％（十万级、三十万级） JGJ71-90 1次/班 换气次数 十万级≥15次/小时 JGJ71-90 1次/月 三十万级≥12次/小时 静压差 ≥5Pa（不同洁净级别洁净室（区）之间） JGJ71-90 1次/月 ≥10Pa（洁净室（区）与室外） ≥5Pa（洁净室（区）之间与非洁净室（区）） 尘埃粒子 ≥0.5μm ≥5μm GB/T16292-1996 1次/季 十万级≤3500000个/m3 ≤20000个/m3 三十万级/m3 ≤60000个/m3 浮游菌 十万级≤500个/m3 GB/T16293-1996 1次/季 沉降菌 十万级≤10个/皿 GB/T16294-1996 1次/周 三十万级≤15个/皿