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第5章、谱图的一般特征 XPS谱图的初级结构 XPS谱图的次级结构 AES谱图的特征性质 5.0、XPS谱图的形式 XPS谱图的采集： XPS谱图是通过用X射线照射样品材料的同时测量从材料表面出射的电子的能量和数目而得到的。 XPS谱图的形式： 光电子信号强度I 随能量的变化关系(I ~ EB)； 数据采集模式： 全扫描谱(Survey scan)：扫描能量范围宽（0?1100eV），灵敏度高(分辨力低)，元素鉴别。 高分辨谱(Detail scan)：扫描能量范围窄(20eV左右)，分辨力高，主要用于元素化学态分析。 5.0、XPS谱图的形式 在XPS谱图中可观察到多种类型的谱峰。 一部分是基本的并总可观察到—初级结构 另一些依赖于样品的物理和化学性质—次级结构 光电发射过程常被设想为三步（三步模型）： 光吸收和电离（初态效应）； 原子响应和光电子发射（终态效应）； 电子向表面输运并逸出（外禀损失）。 所有这些过程都对XPS谱的结构有贡献。 5.1、XPS谱图的初级结构 光电子谱峰 俄歇电子谱峰 价带谱 5.1.1、光电子谱线(photoelectron lines) 由于X射线激发源的光子能量较高，可以同时激发出多个原子轨道的光电子，因此在XPS谱图上会出现多组谱峰。由于大部分元素都可以激发出多组光电子峰，因此可以利用这些峰排除能量相近峰的干扰，非常有利于元素的定性标定