（检测技术）第二章电阻应变式传感器.ppt

工作原理 1.压电效应 （a）正电压效应 （b）压电效应的可逆性 2.石英晶体的压电效应 石英晶体压电效应机理示意图 石英晶体切片上电荷极性与受力方向的关系 + + + + － － － － (b) X + + + + + + + + － － － － － － － － (c) (d) FY FY X X + + + + － － － － (a) FX X FX 电荷量 纵向压电系数 横向压电系数 纵向压电效应： 横向压电效应： 压电陶瓷结构示意图 3.压电陶瓷的压电效应 二. 压电传感器测量电路 1.等效电路 压电元件 q Ca Ua Ua＝q/ Ca q ＝UaCa Ca （a）电压等效电路 （b）电荷等效电路 串联输出型压电元件 并联输出型压电元件 压电传感器实际等效电路 （a）电压源 （b）电荷源 2.测量电路 ?????（1）电压放大器????? 电压放大器等效电路示意图 ?????（2）电荷放大器????? 与ω无关 反馈电容折合到放大器输入端的有效电容为 四. 压电式传感器的应用 由于 输出电压 充电电压接近等于放大器的输出电压 电荷放大器 压电元件 q Ca Ua Ua＝q/ Ca q ＝UaCa Ca （a）电压等效电路 （b）电荷等效电路 压电传感器的完整等效电路和测量电路 －A C USC 电荷放大器原理电路图 i R q CF RF U∑ －A C R R’ C’ USC U∑ q 等效电路图 * 运放输入电压 输出电压 当K足够大时, 且由于1／RFωCF,则 几点结论： 1、电荷放大器的输出电压只与输入电荷量和反馈电容有关，而与放大器的放大系数的变化或电缆电容等均无关系， 2、只要保持反馈电容的数值不变，就可得到与电荷量Q变化成线形关系的输出电压。 3、反馈电容Cf小，输出就大， 4、要达到一定的输出灵敏度要求，就必须选择适当的反馈电容。 5、输出电压与电缆电容无关条件： （1+K）Cf（Ca+Cc+Ci） * * * 1)电桥电路 2) 谐振电路 3. 测量电路 （1) 调频式电路 (a) 测量电路框图； (b) 振荡电路 （2） 调幅式电路 调幅式测量电路示意图 初态时， 工作时， 3) 正反馈电路 二. 低频透射式电涡流传感器 三. 电涡流式传感器的应用 1、位移测量 2、振幅测量 3、转速测量 4、无损探伤 第四节 电感传感器的应用 测量尺寸用的轴向自感式传感器 测头 测杆 电感线圈 磁芯 总行程： 1.5mm 测量力：0.4～0.7N 示值变动性：0.2μm 轴向式差动电感式传感器 总行程： 3mm 测量力：0.45～0.65N 示值变动性：0.03μm 旁向式差动电感式传感器 总行程：1.5mm 测量力：0.12～0.18N 示值变动性：0.05μm 电子卡规、塞规 特点：不仅可以测量微米级直径，而且通过其在孔内旋转和平移可以测量其椭圆度和圆柱度 被测孔内径范围:Ф25～Ф120mm 测量力：1.3±0.3N 示值变动性：1μm 特点：不仅可以测量微米级直径，还可以测量轴的椭圆度和圆柱度 被测轴直径范围:Ф25～Ф120mm 测量力：4±1.5N 示值变动性：1μm 轴向式差动变压器式传感器 总行程： 100mm 线性度：0.15% ?? 总行程： 2 ～ 7mm 测量力：0.9～1.2N 示值变动性：0.5μm 第四章 电容传感器 测量范围大。 灵敏度高，电容值的灵敏度高，其相对变化量可达10-7。 动态响应快，电容器可动部分质量小，因而固有频率高，适于动态测量。 结构简单，实用性强，耐高温和强辐射，恶劣环境中可正常工作。 体积小，另可非接触式测量。 电容式传感器 电容式指纹传感器 电容式接近开关 电容式变送器 差压传感器 电容式键盘 电容传声器 极距变化型 面积变化型 介质变化型 一. 工作原理 S d ε 1. 极距变化型 近似线性 非线性 反比关系 相对非线性误差： 反比关系 灵敏度： 非线性项 2. 面积变化型 线性 线性 K 的提高 平板状 筒状 灵敏度的提高： 3. 介质变化型 电容液位计 线性 非线性 侧厚计/相对介电常数测量仪 误差分析： 温度影响 电场的边缘效应 dS 减少极板厚度 加装等位环 寄生电容的影响 减小引线长度 屏蔽电容器 带有保护环的电容传感器原理图 二. 测量电路 测量电桥 单臂接法 差动接法 紧耦合桥 变压器式电桥 图:用紧耦合和不耦合电感做桥臂时的灵敏度 紧耦合桥： 线性 变压器式电桥: 2.差动脉冲