（检测技术）第六章压电传感器.ppt

灵敏度的提高： 3. 介质变化型 电容液位计 线性 非线性 侧厚计/相对介电常数测量仪 误差分析： 温度影响 电场的边缘效应 dS 减少极板厚度 加装等位环 寄生电容的影响 减小引线长度 屏蔽电容器 带有保护环的电容传感器原理图 二. 测量电路 测量电桥 单臂接法 差动接法 紧耦合桥 变压器式电桥 图:用紧耦合和不耦合电感做桥臂时的灵敏度 紧耦合桥： 线性 变压器式电桥: 2.差动脉冲调宽电路 差动脉冲调宽电路各点电压波形图 变极距型: 变面积型: 3.电容调频电路 初态时， 工作时， 4. 运算放大器测量电路 线性 三、电容式传感器的应用举例 1.电容式压力传感器(差压变送器) 2.电容式料位计 3.电容式接近开关在物位测量控制中的使用 4.电容式加速度传感器在汽车中的应用 装有传感器的假人 气囊 加速度传感器安装在轿车上，可以作为碰撞传感器。当测得的负加速度值超过设定值时， 微处理器据此判断发生了碰 撞，于是就启动轿车前部的折叠式安全气囊迅速充气而膨胀，托住驾驶员及前排乘员的胸部和头部。 电容式加速度传感器 5.电容式测微仪 6、电容式偏心度计 7、电容湿度计 HM1500湿度传感器 * 第六章 压电传感器 固有频率高，响应频带宽，具有良好的静态特性和动态特性； 灵敏度及分辨率高，信噪比大； 体积小，结构简单，质量小，工作可靠等。 压电传感器 压电陶瓷位移器 压电陶瓷超声换能器 压电警号 压电加速度计 压电秤重浮游计 工作原理 1.压电效应 （a）正电压效应 （b）压电效应的可逆性 2.石英晶体的压电效应 石英晶体压电效应机理示意图 石英晶体切片上电荷极性与受力方向的关系 + + + + － － － － (b) X + + + + + + + + － － － － － － － － (c) (d) FY FY X X + + + + － － － － (a) FX X FX 电荷量 纵向压电系数 横向压电系数 纵向压电效应： 横向压电效应： 压电陶瓷结构示意图 3.压电陶瓷的压电效应 二. 压电传感器测量电路 1.等效电路 压电元件 q Ca Ua Ua＝q/ Ca q ＝UaCa Ca （a）电压等效电路 （b）电荷等效电路 串联输出型压电元件 并联输出型压电元件 压电传感器实际等效电路 （a）电压源 （b）电荷源 2.测量电路 ?????（1）电压放大器????? 电压放大器等效电路示意图 ?????（2）电荷放大器????? 与ω无关 反馈电容折合到放大器输入端的有效电容为 四. 压电式传感器的应用 由于 输出电压 充电电压接近等于放大器的输出电压 电荷放大器 压电元件 q Ca Ua Ua＝q/ Ca q ＝UaCa Ca （a）电压等效电路 （b）电荷等效电路 压电传感器的完整等效电路和测量电路 －A C USC 电荷放大器原理电路图 i R q CF RF U∑ －A C R R’ C’ USC U∑ q 等效电路图 * 运放输入电压 输出电压 当K足够大时, 且由于1／RFωCF,则 几点结论： 1、电荷放大器的输出电压只与输入电荷量和反馈电容有关，而与放大器的放大系数的变化或电缆电容等均无关系， 2、只要保持反馈电容的数值不变，就可得到与电荷量Q变化成线形关系的输出电压。 3、反馈电容Cf小，输出就大， 4、要达到一定的输出灵敏度要求，就必须选择适当的反馈电容。 5、输出电压与电缆电容无关条件： （1+K）Cf（Ca+Cc+Ci） 第四章 电容传感器 测量范围大。 灵敏度高，电容值的灵敏度高，其相对变化量可达10-7。 动态响应快，电容器可动部分质量小，因而固有频率高，适于动态测量。 结构简单，实用性强，耐高温和强辐射，恶劣环境中可正常工作。 体积小，另可非接触式测量。 电容式传感器 电容式指纹传感器 电容式接近开关 电容式变送器 差压传感器 电容式键盘 电容传声器 极距变化型 面积变化型 介质变化型 一. 工作原理 S d ε 1. 极距变化型 近似线性 非线性 反比关系 相对非线性误差： 反比关系 灵敏度： 非线性项 2. 面积变化型 线性 线性 K 的提高 平板状 筒状 *