1010 Statistical Model Extraction Solution英文文献资料.pdfVIP

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2019-08-03 发布于福建
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Turn-Key Statistical Modeling Solution 2015 .3 LI Fei Keysight EEsof 1 Agenda Page 2 - Back Ground Introduction - MBP Solution 1. Data analysis 2. Extraction 3. Fast simulation - Demo Case Background Introduction Page 3 Sources of Variations Page 4 – Dynamic variations • Voltage droop • Temperature gradient • Aging effects – Manufacturing variations • Process variations • Variations from process-layout interaction • Intrinsic variations Sources of Variations Introduction Process Variations – All processes may introduce extrinsic variations • Thermal growth • Deposition • Resist spin-on • Lithography • Etching • Diffusion • Ion implantation • Rapid thermal annealing • Chemical-mechanical polishing • .. Page 5 Sources of Variations Introduction Process-Layout Caused Variations – Pattern transfer • Load effect • Corner rounding – Ion implantation • Well proximity effect – Strain engineering • Length of oxide definition (LOD) • OD spacing • Poly pitch • Dummy poly number • Contact density • .. Page 6 Sources of Variations Introduction Intrinsic Variations – Random dopant fluctuation • Number and placement –