基于PI衬底的柔性MEMS电容式触觉力传感器设计与制作.docVIP

基于PI衬底的柔性MEMS电容式触觉力传感器设计与制作 第21卷第2期 2008年2月 传感技术 CHINESEJOURNALOFSENSORS ANDAC_f,脯ORS Vo1.21No.2 Feb.2008 DesignandFabricationofthePolyimide-BasedFlexibleMEMS CapacitiveTactileForceSensori XIAOSu—yan..,CHELu__feng,LIXin—xin,WANGYue~lin l_StateKeyLaboratoryofTransducerTechnology.ShanghaiInstituteofMicrosystemandIn/ormation Technology.ChineseAcademyofSciences,Shahghai200050?China; 2.GraduateSchooloftheChineseAcademyofSciences,Beijing100049,China Abstract:Thispaperpresentsanewcapacitivetactilesensorforroboticsorprostheticapplicationsandintroducesa newflexiblef,EMStechniquetofabricateitonliquidspin-coatedpolyimidesubstrate.Thesensorstructurecon- sistsoforganicandinorganicmultilayerthinfilms.Theprocesswasproperlyintegratedaccordingtothestructure characteristicofsensoranditsmaterialsprocessablepropertiesofthesensor,andtheoptimizedprocessissimple, cost-effectiveandcompatiblewithcommonM旺Ⅳtechnology.Especially,thefirstintroductionofthePDMSin— terlayerfilmbetweenthecarrierandthepolyimidesuhstrategreatlyfacilitatestheseparationofthepolyimide-based flexiblecapacitivetactilesensor.ThefinishedsensoriSsmart,robust,twistable,anditcanbeattachedonthear— bitraryshapesurfacesforthesimultaneousmeasurementofbothnorlTlalandshearforce. Keywords:flexibleMEMS;tactilesensor;polyimidesubstrate;polydimethylsiloxane(PDMS) EEACC: 基于PI衬底的柔MEMS电容式触觉力传感器制作* 肖素艳.,车录锋,李昕欣,王跃林 (2笺1息OO技术O49研究所传感技相家重点实验上海..)\.中国科学院研究生院,北京/ 摘要:论述了一种可应用于机器人或医学修补技术的触觉传感器及其在旋涂的柔性聚酰亚胺衬底的新制作方法.该传感 器是由多层无机和有机薄膜组成的柔性薄膜结构.结合传感器结构特点及各结构层材料的加工性能,进行工艺优化整合. 尤其首次在载体硅片与PI衬底之问引进PDMS分离层,使得柔性器件的分离工艺大大简化.最后得到一种简单,低廉且与 常规MEMS技术兼容的工艺.所制的传感器结构轻薄,可挠性好.且能贴附在任意形状的物体表面同时实现法向力和切向力 的测量. 关键词:柔性MEMS;触觉传感器;聚酰亚胺(PI);聚二甲基硅氧烷(PDMS) 中图分类号:TP212.6文献标识码:A文章编号:1004—1699(2008)02—0280—04 众所周知,触觉是机器人实现与外界环境直接 作用不可缺少的媒介,因为触觉传感系统的发展是 机器人传感器技术领域中一个必不可少的部分.通 过与外界环境的接触,触觉传感器获得的完整信息 应包括法向力,切向力,硬度,温度,滑移等多种触觉 信息量的融合.而触觉力传感器系统由于其广泛应 用而一直备受学者们的关注,尤其在生物医药,食品 加工,及微外科学等应用非常广泛[1j.关于触觉力 基金项目:国家高技术研究发展计划项目资助(2003AA404090) 收稿日期:2007—09—3O修改日期:2008—01—17 传感器的报道较多,但大多数结构仅限于法向力或