半导体物理-第六章--PN结.ppt

第六章 PN结 P-N Junction 主要内容： 1、平衡PN 2、PN结V-I特性 3、PN结电容 4、PN结击穿 哈尔滨工业大学微电子科学与技术系 * §6.1 PN结及其能带图 P-N Junction and its energy band diagram 主要内容： 1、PN结的形成及杂质分布 2、平衡PN结 ? 空间电荷区 ? 接触电势差 ?平衡PN结能带图 3、PN结内载流子分布 哈尔滨工业大学微电子科学与技术系 * 1、PN结的形成及杂质分布 （1）合金法 n-Si n-Si n-Si Al 硅-Al共熔体 Al p-Si 合金法制造PN结过程 合金结的杂质分布 xj x ND NA N(x) x xj ，N(x) = NA x xj ，N(x) = ND 哈尔滨工业大学微电子科学与技术系 * （2）扩散法 n-Si n-Si n-Si SiO2 P型杂质 P-Si 扩散法制造PN结过程 扩散结的杂质分布 xj x ND NA（x） N(x) x xj ，NA ND x xj ，N