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四、高能束加工
随着科学技术的发展,许多行业的高、精、尖产品对零件的加工要求 越来越高。如火箭发动机的燃料喷嘴、柴油机喷嘴、人造纤维的喷丝头、 精密仪表上的宝石轴承等都要求尺寸在1~20µm,其边缘清晰度仅为几
µm,而对于微电子学领域中元件的加工精度、表面质量的要求更高。
这对于传统的机械加工非常困难甚至难以实现。人们在生产实践中,发 展了高能密度束流加工技术,解决了以上技术难题。常用的高能束流加 工方法主要是激光加工、电子束加工、离子束加工等。
四、高能束加工
高能束流加工有以下共同特点:
1)加工速度快,热流输入少,对工件热影响极少,工件变形小。
2)束流能够聚焦且有极高的能量密度,激光加工、电子束加工可使
任何坚硬、难熔的材料在瞬间熔融汽化,而离子束加工是以极大能量
撞击零件表面,使材料变形、分离破坏。
3)工具与工件不接触,无工具变形及损耗问题。
4)束流控制方便,易实现加工过程自动化。
(一)激光加工
1.激光加工的原理
激光是一种在激光器中受激辐射而产生的相干光。它具有强度高、方
向性好、相干性和单色性好等特点。由于激光的单色性好和具有很小的 发散角,因此可通过光学系统将激光束聚焦成尺寸与光波波长相近的极
小光斑,其功率密度可达107~1011w/cm2,温度可达一万摄氏度,将材
料在瞬间(10-3s)熔化和蒸发,工件表面不断吸收激光能量,凹坑处的
金属蒸汽迅速膨胀,压力猛然增大,熔融物被产生的强烈冲击波喷溅出 去。所以说激光加工是在光热效应下产生的高温熔融和冲击波的综合作 用过程。
2.激光加工的特点
1) 激光加工属非接触加工,无明显机械力,也无工具损耗,工件不变形, 加工速度快,热影响区小,可达高精度加工,易实现自动化。
2)因功率密度是所有加工方法中最高的,所以几乎可加工任何金属与非 金属材料。
3) 激光可通过惰性气体、空气或透明介质对工件进行加工,如可通过 玻璃对隔离室内的工件进行加工或对真空管内的工件进行焊接。
4)激光可聚焦形成微米级光斑,输出功率大小可调节,常用于精密细微
加工,最高加工精度可达0.001mm,表面粗糙度Ra值可达0.4~0.1 m。
5)能源消耗少,无加工污染,在节能、环保等方面有较大优势。
(1)激光打孔
(2)激光焊接
(3)激光切割
(4)激光表面热处理
3.激光加工的应用
主要用于特殊材料或特殊工件上的孔加工, 如仪表中的宝石轴承、陶瓷、玻璃、金刚石 拉丝模等非金属材料和硬质合金、不锈钢等 金属材料的细微孔的加工。
当激光能量密度在103~105w/cm2时,对工件表面
进行扫描目,前在已极成短功的的时应间内用加于热钢到板相、变不温锈度钢,、工件钛表、
层由于铌热、量镍迅等速金向属内材传料导快以速及冷石却英,、实陶现瓷了、工塑件表料层、 材料的木相材变、硬布化匹(、激纸光张淬火等)非。金属材料的切割,也
与其可它应表用面于热化处学理纤比维较喷,激丝光头热的处型理孔工加艺工简。单,生
产率高,工艺过程易实现自动化。一般无须冷却介质
,对环境无污染,对工件表面加热快,冷却快,硬度 比常规淬火高约15%~20%;耗能少,工件变形小,适 合精密局部表面硬化及内孔或形状复杂零件表面的局 部硬化处理,但激光表面热处理设备费用高,工件表 面硬化深度受限,因而不适合大负荷的重型零件。
本讲复习思考题
1.何为高能束加工?通常分为哪几类?
2.高能束加工有何特点?
3.试述激光加工的基本原理和特点。
下讲预告:
下一讲的内容是电子束加工和离子束加
工。
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