质量流量控制器技术说明书.docxVIP

R R 1、 质量流量控制器和质量流量计 使 用 说 明 书 特点及应用领域 质 量 流量控 制器（ Mass Flow Controller 缩 写 为 MFC）用 于对气 体的质 量流量 进 行 精密 测量 和 控制 。 质量 流 量计 （ Mass Flow Meter 缩 写为 MFM），用于对 气体 的质量 流量进行精密测量。 S49 系列质量流量控制器和质量流量计特点： *采 用主体 不 锈 钢 （ 316L） 结 构 ，与 气 体 接 触 部 分 采 用 铁 素 体 高 耐 腐 蚀 软 磁 不 锈 钢、VITON 、聚四氟乙烯等 *适用于各种腐蚀性气体 *气体流量不因温度、压力的变化而失准 *高精度 *重复性好 *响应速度快、软启动、稳定可靠 *低压降 *工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）。 *操作使用方便，可任意位置安装 *便于与计算机连接实现自动控制。 S49 系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域： *半导体制造行业的气体流量控制 1 *分析仪器设备的气体计量与控制 *各种形式的真空镀膜设备 *环境检测与分析设备 *化工、石化、食品行业气体流量监测和控制 *特种材料表面处理装置与燃烧控制 *混气配气系统和泄漏探测系统等 2．S49 系列质量流量控制器和质量流量计型号 本 产 品采用中华人民共和国电子行业标准 SJ/T10583-94 以 及 SJ37 所 规定 的通用 技术条件及命名方法。 其中：S49-33/MT 型为高精度质量流量控制器 S49-33A/MT 型高精度质量流量计。 S49-33M/MT 型为普通型质量流量控制器 S49-33BM/MT 型普通型质量流量计。 质 量 流量计 主 要精确 测量气体流 量，质 量 流量 控制器不但 具 有质量 流 量计的 功能 还具备自动控制气体流量的功能。 执行 Q/XCHBY001-2003 企业标准 3．主要技术指标 质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N  2  ）标定。 2 质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分); 　　　　　　　　　　　　SLM (标准升/分) 标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ ); 气压 — 101325 Pa (760mm Hg) F.S (Full Scale): 表示满量程值 表 1 S49-33/MT 型﹑S49-33M/MT 型质量流量控制器技术指标 3 -9 -9 编号 项 目 S49-33/MT S49-33M/MT 1 流量规格 ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10,15,20,30) SLM 2 调节阀类型 电磁调节阀 3 调节阀静止位置 常闭 4 准确度 ± 1 % F.S （5sccm~10slm） ± 2 % F.S 5 线性 ±(0.5~1.5) % F.S 6 重复精度 ±0.2 %F.S 7 响应时间 (1 ~ 10) sec 8 工作压差范围 (0.05 ~ 0.4) Mpa 10~30L(0.1~0.4) Mpa 9 耐压 3 Mpa ﹑ 10 Mpa 10 工作环境温度 5 ℃ ~ 45 ℃ 11 材料 不锈钢 316L 12 标准密封材料 Viton﹑EPDM, 或其他 13 漏率 ﹤2×10 mbar.1/s He 14 接头 Ф6mm, 1/4″Swagelok, 1/4″VCR, 或其他 15 输入输出信号 0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于 100K, 输出电流不大于 3mA) 16 电源 +15 V 50 mA -15V 200 mA 17 外形尺寸 mm 134×134×38 18 重量 kg 1.2 表 2. S49-33A/MT﹑ S49-33BM/MT 型质量流量计技术指标 4 -9 -9 编号 项 目 S49-33A/MT S49-33BM/MT 1 流量规格 ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10,15,20,30) SLM 2 准确度 ±1 % F.S ±2 % F.S 3 线性 ±(0.5~1.5) % F.S 4 重复精度 ±0.2 %F.S 5 响应时间 1~4 sec 6 气压降 0.01 MPa 7 耐压 3 MPa﹑ 10 MPa 8 工作环境温度 5 ℃ ~ 45 ℃ 11 材料 不锈钢 316L 12 标准密封材料 Viton﹑EPDM, 或其他 13 漏率 ﹤2×10 mbar.1/s He 14 接头 Ф6mm, 1/4″Swagelok, 1/4″VCR, 或其他 电源 +15 V 50 mA -15 V 50 mA 11 外形尺寸