激光干涉的测试技术应用.pptVIP

法布里―珀罗干涉仪 法布里-珀罗干涉信号与双束干涉信号比较 * 传感器对应人类的眼耳鼻，大脑对应计算机，手对应执行器 激光干涉测试技术 传统的高精度三维形貌测量方法:接触测量 采集速率几个坐标/每秒; 工件尺寸有限; 对非平面形貌测量精度低。 三坐标测量机 接触测量存在以下问题： 标准样板与被测表面必须十分清洁； 清洁工作多拿在手中擦试，由于体温的影响，影响测试准确度； 样板有一定重量压在被测表面上，必然会产生一定的变形，尤其是对大平面零件; 因此高精度曲面，曲率测量都使用激光干涉的非接触测量方法。 历史进程 17世纪后半叶，玻意耳(Boyle)和胡克(Hooke)独立地观察了两块玻璃板接触时出现的彩色条纹，人类从此开始注意到了干涉现象。 1801年 托马斯·杨(Thomas Young)完成了著名的杨氏双缝实验，人们可以有计划、有目的地控制干涉现象。 1860年 麦克斯韦(C.Maxwell)的电磁场理论为干涉技术奠定了坚实的理论基础。 1881年 迈克尔逊(A.Michelson)设计了著名的干涉实验来测量“以太”漂移。 1960年 梅曼(Maiman)研制成功第一台红宝石激光器，以及微电子技术和计算机技术的飞速发展，使光学干涉技术的发展进入了快速增长时期。 1982年 G.Binning和H.Rohrer研制成功扫描隧道显微镜，1986年发明原子力显微镜，从此开始了干涉技术向纳米、亚纳米分辨率和准确度前进的新时代。 §1 光的电磁波理论基础 光是某一波段的电磁波 光波是横波：振向和传向垂直 H E方向：电场波动方向； H方向：磁场波动方向。 (1) 在电磁波的传播速度: (2) 折射率: v：光频率 相对介电常数 相对磁导率 (3) 可见光的波长范围 350nm-780nm: 波长 大气透射率 光波是电磁波，在光波中，产生感光作用与生理作用的主要是电场强度E,我们将电场强度E称为光矢量。 光在不同介质中，频率不变，但光速不同，波长不同。 真空中 介质中 光的电磁波理论基础：简谐振动的旋转矢量表示法 t =0 t 时刻 逆时针旋转 参考圆 振幅矢量 O 光的电磁波理论基础: 单色光的光矢量公式 — 圆频率 — 光频率 E0 — 振幅 — 初相位 光的电磁波理论基础: 指数形式的光矢量公式 光强公式： * 表示共轭 §2 激光干涉测试技术基础 满足 的光程差相同的点，形成的暗线叫暗纹， 亮纹和暗纹组成干涉条纹。 其中m是干涉条纹的干涉级次。 1．干涉原理：光波的叠加原理 两束相干光波在空间某点相遇，产生的干涉条纹光强分布： 位相差 两光束到达某点的光程差 满足 的光程差相同的点，形成的亮线叫亮纹。 2.1 干涉原理与干涉条件 2．干涉条件 通常能够产生干涉的两列光波必须满足三个基本相干条件： 频率相同 振动方向相同 恒定的位相差 静态稳定干涉场的条件 干涉条纹对比度可定义为 Imax、Imin 分别为干涉场中光强的最大值和最小值。 K＝1，对比度有最大值,Imin = 0； K＝0，条纹消失, Imax= Imin。 K＞0.75，对比度优秀； K＞0.5， 对比度满意的； K＝0.1，条纹尚可辨认，但是相当困难。 对动态干涉测试系统，对条纹对比度的要求就比较低。 2.2 影响干涉条纹对比度的因素 ① 光源的单色性 干涉场中的干涉条纹是 [λ,λ＋Δλ] 之间所有波长的光干涉条纹叠加的结果。 当λ＋Δλ的第m级亮纹λ 的第m+1级亮纹重合后，之后所有亮纹开始重合，干涉条纹消失。 图3-1 各种波长干涉条纹的叠加 λ λ+Δλ 干涉条纹消失的条件 由此得最大干涉级m＝λ/Δλ ，与此相应的尚能产生干涉条纹的两支相干光的最大光程差(或称光源的相干长度)为 在波动光学中，把光通过相干长度所需要的时间称为相干时间，其实质就是可以产生干涉的波列持续时间，（其对应产生干涉的两列波的光程差）。因此，激光光源的时间相干性比普通光源好得多，一般在激光干涉仪的设计和使用时不用考虑其时间相干性。 ② 相干光束光强不等的影响 设两支相干光的光强为I2=nI1，则有 对比度K与两支干涉光强比n的关系 可见，没有必要追求两支 相干光束的光强严格相等。 尤其在其中一支光束光强 很小的情况下，人为降低 另一支光束的光强，甚至 是有害的。因为这会导致 不适当地降低干涉图样的 照度，从而提升了人眼的 对比度灵敏阈值，不利于 目视观测。 2.3 干涉系统的分类 在普通干涉仪中，由于参考光束和测试光束沿着分开的光路行进，故这两束光受机械振动和温度起伏等外界条件的影响是不同的。因此，在干涉测量过程中，必须严格限定测量条件，采取适当的保护措施，否则干涉场上的干涉条