材料研究方法与实验_06-TEM.pdf

透射电子显微镜 （TEM ） 透射电子显微镜是以波长极短的电子束作为照明源，用电 磁透镜聚焦成像的一种高分辨、高放大倍数的电子光学仪 器。 它由三部分组成：  电子光学系统（照明、成像、观察记录系统）  电源与控制系统  真空系统 TEM主要可以进行组织形貌与晶体结构同位分析 TEM发展简史 • 1924年de Broglie提出波粒二象性假说 • 1926 Busch指出“具有轴对称性的磁场对电子束 起着透镜的作用，有可能使电子束聚焦成像”。 • 1927 Davisson Germer, Thompson and Reid 进行 了电子衍射实验。 • 1933年柏林大学的Knoll和Ruska研制出第一台电 镜（点分辨率50nm, 比光学显微镜高4倍) ，Ruska 为此获得了Nobel Prize （1986）。 • 1949年Heidenreich 观察了用电解减薄的铝试样； 近代TEM发展史上三个重要阶段 • 像衍理论(50－60年代) ： 英国牛津大学材料系P.B.Hirsch, M.J.Whelan ；英 国剑桥大学物理系A.Howie （建立了直接观察薄晶体缺陷和结构的实验技术 及电子衍射衬度理论） • 高分辨像理论（70年代初）： 美国阿利桑那州立大学物理系J.M.Cowley ，70年 代发展了高分辨电子显微像的理论与技术。 • 高空间分辨分析电子显微学（70年代末，80年 代初） 采用高分辨分析电子显微镜（HREM ，NED ， EELS, EDS ）对很小范围（～5Å）的区域进行 电子显微研究（像，晶体结构，电子结构，化 学成分） 各国代表人物 • 美国伯克莱加州大学G.Thomas将TEM 第 一个用到材料研究上。 • 日本岗山大学H. Hashimoto 日本电镜研 究的代表人。 • 瑞典斯德哥尔摩大学Osamu Terasaki, 多 孔材料分析“世界第一人”。 • 中国：钱临照、郭可信、李方华、叶恒 强、朱静。 • 国内电镜做得好的有：北京电镜室（物 理所）、沈阳金属所、清华大学、上海 硅酸盐所。 为什么要用TEM? • 1）可以实现微区物相分析。 GaP纳米线的形貌及其衍射花样 为什么要用TEM? • 2 ）高的图像分辨率。 0.61 r 0 n sin  不同加速电压下电子束的波长 V(kV) (Å) 100 0.0370 200 0.0251 300 0.0197 1000 0.0087 纳米金刚石的高分辨图像 应用举例－半导体器件结构 1.2 kx 150 kx 8 kx 600 kx 应用举例－金属组织观察 1 µm .8 µm Al-Cu metallization layer thinned on Si Ion polished commercial Al alloy substrate 应用举例－Si纳米晶的原位观察 照明部分：