微细加工中的光刻原理专业知识讲座.pptVIP

本文档所提供的信息仅供参考之用，不能作为科学依据，请勿模仿。文档如有不 当之处，请联系本人或网站删除。 工作台的移动方式有步进式和连续 式两种。步进操作是 当工作台停止 移动时，图形区域曝光，然后工作 台移动到一个新的位置，对靠近上 次曝光区域的一个新的图形区域曝 光。工作台连续移动，图形就被记 录在基片上。工件在工件台上的位 置不可能每次每片都完全一样，更 何况基片在热处理之后会有翘曲变 形。因此，在曝光室内设有探测装 置，用以探测片夹上或基片上的套 准标志，以检测实际的曝光位置， 从而校正预期的位置数据。 本文档所提供的信息仅供参考之用，不能作为科学依据，请勿模仿。文档如有不 当之处，请联系本人或网站删除。 3 ．图形发生器与控制电路 ? 它们的作用是根据计算机的命令对电子 束进行控制，将计算机的数字信号 ( 包括 电子束的偏转、电子束闸的通断及电子 束的成形等信号 ) 变换为模拟信号。除此 之外，还需要对探测器的反馈信号 ( 视频 信号 ) 进行数模转换和处理。最后，还要 监控图形显示。 本文档所提供的信息仅供参考之用，不能作为科学依据，请勿模仿。文档如有不 当之处，请联系本人或网站删除。 4 ．计算机控制系统 ? 一般采用小型控制机。主要作用是数据输入，控制图 形发生器、真空系统、工作台系统及其他设备。 ? 一台电子束曝光设备性能的发挥主要依靠软件。软件 系统主要包括如下三个内容： ? (1) 图形数据制备 包括变换、制备、调用数据，使电子 束在工件上准确地完成扫描曝光图形的任务，以及图 示仪的显示监控。 ? (2) 文件处理 包括图形和标志的文件与表格处理、修改、 复印等。 ? (3) 系统通讯 尤其是控制台终端的操作员与系统的人机 通讯极为重要，各系统之间的通讯联系也较复杂，这 些都要依靠必不可少的软件。 本文档所提供的信息仅供参考之用，不能作为科学依据，请勿模仿。文档如有不 当之处，请联系本人或网站删除。 电子束曝光技术的限制 ? 首先是电子光刻胶的限制。当前电子光刻胶的分辨率 实际所能达到的最高值为 0 ． 1um ，与理论值相差甚远。 ? 其次是背散射效应的限制。电子的背散射可达数微米， 即使光刻胶的分辨率很高，但由于背散射效应不可避 免地存在，故很难制取高分辨率的图形。为此，就要 解决因背散射而引起的邻近效应的校正问题，否则电 子束曝光技术的优越性将得不到发挥。 ? 最后是套准的限制。这对于直接在基片上曝光并进行 多层套准更为突出。由于基片的热变形，使前一层的 图形产生不规则的畸变，故在后一图形曝光时，必须 重新测定变形后的图形的实际位置，并在校正后两层 图形才能套准。套准探测技术目前的最高水平尚未超 过 0.1um 。 本文档所提供的信息仅供参考之用，不能作为科学依据，请勿模仿。文档如有不 当之处，请联系本人或网站删除。 三、图形的曝光方式 采用电子束对图形进行曝 光有三种主要形式。图 3 — 26 为矢量扫描和光栅扫描 的曝光方式；另外一种方 法是采用可变成形束一次 将整个特征尺寸曝光完， 然后移到下一个特征尺寸。 本文档所提供的信息仅供参考之用，不能作为科学依据，请勿模仿。文档如有不 当之处，请联系本人或网站删除。 1 ．矢量扫描法 电子束在预定的扫描场内，对某一形状进 行曝光，当该形状扫描曝光完毕后，电子 束就沿某一矢量跳到另一形状进行曝光。 这种方法称为矢量扫描法。 矢量扫描法的优点是：电子束只在需要曝 光的图形驻留，在无图形的空白处，束闸 将电子束闸断，并迅速按矢量所指示的方 向位置跳到下一图形处，再进行扫描曝光。 这样可以节省曝光时间，提高生产率。一 块掩模版或基片，一般说，实际需要曝光 的图形面积只占基片面积的 20 ％一 30 ％。 在普通的矢量扫描中，可以采用若干种偏 转方式来填充每个特征尺寸。 本文档所提供的信息仅供参考之用，不能作为科学依据，请勿模仿。文档如有不 当之处，请联系本人或网站删除。 ? 在矢量扫描技术中，跳步是个主要问题。矢量 的两个终端坐标就是束斑跳动的位置。为了保 证完成这种跳动，两端之间至少必须有 5 个曝 光地址距离，而电子束的偏转系统应在 5 个曝 光地址内完成矢量跳动。地址是指束斑的步距。 为方便起见，可把偏转扫描场看成棋盘，一个 扫描场一般用 4000 — 40000 条线划成栅格，每 个栅格就是一个地址 ( 束斑步距 ) 。栅格尺寸也 称为地址结构。由于偏转系统的带宽不够，以 及偏转磁场的变化而在附近的金属材料中产生 涡流，这都会使矢量跳动，导致改变电子束扫 描方向时产生滞后。 本文档所提供的信息仅供