一种先进的超精密磨床外文文献翻译、中英文翻译.docVIP

PAGE PAGE 45 附录1：外文翻译 一种先进的超精密磨床 兰迪斯.隆德公司的生产精密机械的克兰菲尔德部门，最近生产了一种超精密的端面磨床，该机床拥有几个自动监控功能。该公司免费给克兰菲尔德大学的精密工程小组提供机床，以便他们进行研究，特别是里外都完整的无损害的端面区部分。 本文论述了机械的设计、初加工试验以及可能的研究项目。这些项目将因为这种先进的机械系统的应用而受益，系统结合了最先进的自动检测功能与控制加工过程功能。 关键词：自动检测 磨削 机械设计 精密机器 1 绪论 生产精密机械的克兰菲尔德是UNOVA的一个子公司，它的专长是用先进的原料生产和制造出价格合理的机器元件，包括陶瓷、玻璃、金属互化物及硬质合金钢。克兰菲尔德大学是以工业和制造业著称的大学，它重视与工业界的密切联系，而且现在正在开展超精密的、超高速加工的机械研究项目，包括超硬材料加工、脆性材料的韧性加工以及汽车产业的精密加工。这两个团体互补的研究兴趣导致了生产精密机械的克兰菲尔德公司设计和生产了一种先进的超精密端面磨床给属于SIMS的精密工程研究小组。这使得该小组拥有一系列的研究项目，特别是对于里外都完整的无损害的端面区部分。 原料的纳米分散加工及控制被看作是一种中期至长期解决成本和时间问题的方法，这两个问题折磨着电光学与其它精密零件的制造。例如：易碎原料的延展抛光能够提供光滑的表面，事实上，它比一般的材料拥有较高的平滑度和外形精确度[1]。更重要的是,一个球表面很少或没有经历表面下的损伤,因此消除了联合传统抛光进行后续抛光的步骤。许多的“微小精密”产品(如半导体、光纤通信系统、计算机辅助系统等),以及较大的被航空、汽车等应用的元件的性能越来越依赖于更高的几何精度和微-纳米表面。最近,汽车工业已经显示了未来对元件表面的要求，它需要具有几个关键的传输元件，这种传输性能属于光学性质,它的目标是用10纳米的Ra表面经济地完成对硬钢的直接机械加工，而且无需对硬钢进行抛光。玻璃和陶瓷有无损害的表面，硬钢有光学性质表面，这种条件是非常严格的，它需要(a)一系列的机械工具，它们不是一般的最好的生产工具，例如，精度高、运动顺畅、环硬度高[2]；(b)辅助设备的加入，人、特别是为了适应特殊的应用，例如砂轮的打磨维修和调节；以及(c) 使用正确的磨削技术（许多的变量—车轮的型号；冷冻剂；速度；供给等）。所有的条件都必须被满足，现在能够满足这些条件的晶圆磨机器已经生产出来。 2 目标 为了满足上面所提及的表面完整性和生产率的要求,这些要求适用于一系列的元件,主要的发展目标包括: 1）．一个有高标准（上表面和下表面）完整性的较大的元件产品的机械加工效率 2）对易碎材料(眼镜、陶瓷)优先选择柔软的方式进行机械加工 3）一个只有一个设置的单一过程来取代典型的三级研磨、腐蚀和抛光过程，能够实现更高的生产率。 3过程 这个过程的一个主要要求是它应该能够在350毫米直径元件上进行极度平滑表面加工的能力。而且,表面应该是光滑的(小于50Ra)以及有最小的表面损伤。理论上，其表面的性质应接近于抛光表面的性质。为了满足这些严格的要求，旋转磨削已被应用。旋转磨削的特性是它不像传统的表面抛光，它有一个恒接触长度和恒切削力。如图1所示的磨削原理。砂轮、工件的旋转以及砂轮的轴供给去除工件的表面余量，直到达到它的最后几何厚度。 4 本机 该进程和组件的较高要求需要质量非常高的环刚度机。 研磨机（图2）面的设计目标是： 图1关于研磨作业问题 1. 要求为达到亚微米亚表面损伤，环刚度应该优于200 N /m_1具有良好的动态阻尼。 2. 要实现总厚度 变化（TTV）的0.5 m公差，控制间距（轮部件的表面）应该大于0.333弧秒。 3. 要实现亚微米亚表面损伤，切深度控制应该优于0.1 m。 4. 需要轴向误差议案实现亚微米亚表面损伤,锭数应该优于0.1 m。 5. 测量与反馈元件厚度为0.5 m，以达到微米的厚度公差。 在地面几何平面取决于相对位置的砂轮和旋转轴工件。图3显示的相对运动和机轴。共有11个轴，再加上三个数字遥控加载项（未显示），随动控制下的所有驱动。 它们是： S1磨削主轴 C Workhead主轴 Z进料 X砂轮 S2修整主轴 W轴修整 A倾斜间距 B倾斜偏航 S3驱动洗刷 P探头厚度 洗刷臂 如下所述，平面精确度可以由旋转轴加上旋转的叠加有适当的主轴路线方法实现。此外，这原型研究纳入机受益于以下国家的最先进的自动功能 监督和加工过程的控制。 4.1 调整工件和磨削 转动平衡性 因为地面几何表面可描述几何方程，这两个旋转轴S1和C中一相对对齐（图3）已进行简化。研磨进程需要平面砂轮和工件的平面要保持作为Z轴进给的应