研磨表面微观形貌的三维检测及Areal表征.docVIP

第２５卷第２期２００９年４月 机械设计与研究 ＭａｃｈｉｎｅＤｅｓｉｇｎａｎｄＲｅｓｅａｒｃｈ Ｖ０１．２５Ｎｏ．２Ａｐｒ．，２００９ 文章编号：１００６－２３４３（２００９）０２－０１９－０４ 研磨表面微观形貌的三维检测及Ａｒｅａｌ表征 陈国强１。张维强２。彭文静１ （１．湖南工程学院工程训练中心，湖南湘潭４１１１０４，Ｅ－ｍａｉｌ：ｃｇｑ＿２００６＠ｈｏｔｍａｉｌ．ｃｏｍ； ２．南京农业大学工学院，南京２１００３１） 摘要：介绍了三维表面微观形貌的检测方法，分析了采用高斯滤波提取基准中面的原理，针对研磨表面形貌的表征选取了一组Ａｒｅａｌ表征参数。运用原子力显微镜（ＡＦＭ）扫描研磨工件的表面，采用高斯滤波提取基准中面进而分离出表面微观形貌的三维信息，在此基础上计算出表征参数值。试验表明研磨表面微观形貌呈现高斯分布规律，采用高斯滤波方法及所选的Ａｒｅａｌ表征参数能够有效地表征研磨表面的三维微观形貌。 关键词：微观形貌；Ａｒｅａｌ表征；原子力显微镜；高斯滤波中图分类号：ＴＨｌ６１＋．１４ 文献标识码：Ａ Ｒｅｓｅａｒｃｈ ｏｎ ｔｈｅ３．ＤＤｅｔｅｃｔｉｏｎａｎｄＡｒｅａｌＣｈａｒａｃｔｅｒｉｚａｔｉｏｎｏｆ ｏｆＬａｐｐｉｎｇＳｕｒｆａｃｅ Ｗｅｎ－ｊｉｎ９１ Ｍｉｃｒｏ－ｔｏｐｏｇｒａｐｈｙ （１．Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ ＣＨＥＮＧｕｏ—ｑｉａｎ９１，ＺＨＡＮＧＷｅｉ—ｑｉａｎ９２，ＰＥＮＧ ＴｒａｉｎｉｎｇＣｅｎｔｅｒ，ＨｕｎａｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｘｉａｎｇｔａｎ４１１１０４，Ｃｈｉｎａ； ２．ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＮａｎｊｉｎｇＡｇｒｉｃｕｌｔｕｒａｌＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｎａｎｊｉｎｇ２１００３１，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｉｓｐａｐｅｒｉｎｔｒｏｄｕｃｅｓｔｈｅｐｒｅｃｉｓｅｌｙｄｅｔｅｃｔｉｎｇｍｅｔｈｏｄｏｆ３－Ｄｓｕｒｆａｃｅ’Ｓｍｉｃｒｏ－ｔｏｐｏｇｒａｐｈｙ．ＴｈｅＧａｕｓｓｉａｎｆｉｌｔｅｒｍｅｔｈｏｄｆｏｒｅｘｔｒａｃｔｉｎｇｒｅｆｅｒｅｎｃｅｐｌａｎｅｉｓａｎａｌｙｚｅｄ，ａｎｄｔｈｅ ａ ｃｏｌｌｅｃｔｉｏｎｏｆ Ａｒｅａｌ ｔｏ ｐａｒａｍｅｔｅｒｓｉｓ ｔｈｅｌａｐｐｉｎｇ ｓｅｌｅｃｔｅｄ ｔｏ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚｅ ｌａｐｐｉｎｇｓｕｒｆａｃｅｔｏｐｏｇｒａｐｈｙ．Ｔｈｅ ａｔｏｍｉｃｆｏｒｃｅ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ（ＡＦＭ）ｉｓｕｓｅｄ ｓｃ￥ｆｆｌ ｓｕｒｆａｃｅ，ａｎｄｔｈｅｒｅｆｅｒ－ ｅｎｅｅ ｐｌａｎｅｉｓｅｘｔｒａｃｔｅｄｂｙＧａｕｓｓｉａｎｆｉｌｔｅｒ ＳＯ鹊ｔｏｄｉｖｉｄｅｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｍｉｃｒｏ?ｔｏｐｏｇｒａｐｈｙｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ．ｔｈｅｎｔｈｅｃｈａｒａｃｔｅｒ－ ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔｓｈｏｗｓｔｈａｔｔｈｅｌａｐｐｉｎｇｓｕｒｆａｃｅ’ｓ ｉｚａｔｉｏｎ ｐａｒａｍｅｔｅｒｓ’ｖａｌｕｅ眦ｃａｌｃｕｌａｔｅｄ．Ｔｈｅｍｉｃｒｏ?ｔｏｐｏｇｒａｐｈｙ ｔａｋｅｓ ｏｎａ Ｇａｕｓｓｉａｎｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ，ａｎｄａｐｐｌｙｉｎｇＧａｕｓｓｉａｎｆｉｌｔｅｒｍｅｔｈｏｄａｎｄｔｈｅｓｅｌｅｃｔｅｄＡｒｅａｌｐａｒａｍｅｔｅｒｓＣａｎｅｆｆｅｃｔｉｖｅｌｙ ３－Ｄｍｉｃｒｏ?ｌａｐｐｉｎｇｓｕｒｆａｃｅ． Ｋｅｙ ａＳＳｅＳＳ ｔｈｅ ｗｏｒｄｓ：ｍｉｃｒｏ－ｔｏｐｏｇｒａｐｈｙ；ａｒｅａｌｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚａｔｉｏｎ；ａｔｏｍｉｃｆｏｒｃｅｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ；ｇａｕｓｓｉａｎｆｉｌｔｅｒ 随着生产和科学技术的迅猛发展，对零件产品的加工精度和表面粗糙度的要求越来越高，包括研磨在内的一些光整加工方法得到了迅速发展，使得对Ｔ件表面形貌的精确检测及表征日益重要和突出。由于表面形状是三维空间分布的，二维的测量与表征并不能完全反映表面形貌的真实特征。随着近年来检测技术的发展及计算能力、图象处理技术和数值处理技术的大大提高，使得表面形貌的评定方法已从单一的二维形状误差、波纹度、表面粗糙度的分离评估，逐步向三维表面形貌的综合表征和评定转变。准确的检测和科学的评定精密表面的三维微观形貌对于精密／Ｊｕ３－工艺的发展及工件表面质量和性能的提高具有指导意义。 学探针法、干涉显微镜法、白光相移干涉法、扫描电子显微镜（ＳＥＭ）、光子隧道显微镜（ＳＴＭ）、扫描探针显微镜等…。 触针式轮廓仪是最广泛使用的接触式测量仪，它一般采用金刚石探针扫描被测表面，但其探针常常会划伤被测表面；光学散射法具有测量速度快和仪器结构简单等优点，但它测量的是被测表面的平均特性，不能给出表面的形貌，属于一种参数测量技术；光学探针法的种类较多，但一般误差较大；干涉显微镜具有表面信息直观和测量精度高等优点，缺点是在表面形貌上陡峭的斜坡产生的干涉