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TiN ， TiC 等超硬镀层 ? 用 TiN ， TiC 等超硬镀层涂覆刀具、模具等 表面，摩擦系数小，化学稳定性好， ? 具有优良的耐热、耐磨、抗氧化、耐冲击 等性能，既可以提高刀具、模具等的工作 特性，又可以提高使用寿命， ? 一般可使刀具寿命提高 3 ～ 10 倍。 ? 在高温、超高真空、射线辐照等特殊条件下 工作的机械部件不能用润滑油，只有用软金 属或层状物质等固体润滑剂。 ? 常用的固体润滑剂有软金属 (Au ， Ag ， Pb ， Sn 等 ) ，层状物质（ MoS 2 ， WS 2 ，石墨， CaF 2 ，云母等），高分子材料（尼龙、聚 四氟乙烯等）等。 ? 其中溅射法制取 MoS 2 膜及聚四氟乙烯膜十 分有效。 固体润滑薄膜 12.4 离子镀膜 ? 概念：离子镀膜简称离子镀，是在真空条 件下利用气体放电，使被气化的物质部分 离子化，并在这些荷能粒子轰击基体表面 的同时沉积于其上并形成薄膜的一种气相 沉积方法。 ? 优点：离子镀兼具蒸镀的沉积速率高和溅 射镀的沉积粒子能量高的特点，并且特别 具有膜层和基体结合力强，绕射性好，可 镀材料广泛等优点。 一、离子镀膜的原理和装置 ? 离子轰击，确切说应 该既有离子又有原子 的粒子轰击。 ? 粒子中不但有氩粒子， 还有镀料粒子， ? 在镀膜初期还会有由