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能谱学习报告 9 月 16 日于苏州 1 产品近况 2 常用参数说明 2.1 过压比 定义 ：过压比是指 SEM 所加的高压与某元素的某线系之最低激发能（E ）之 0 比 加速电压 过压 ＝ 相应元素的最低激发能 例如：Al 的 Kα 的激发能 E ＝1.48，则当加速电压为 15KV 时，过压比 10 0 典型的加速 电压应该介于合金中最重元素的能量的 2 倍和最轻元素的能量 的 10~20 倍。低过压比意味着在谱线中产生小的，差的激发峰和较差的统计学品 质，而过高的的过压比会使相应元素的能谱结果含量偏高，偏高程度与过压比成 正比 这就是我们做能谱定量分析中，H 元素直接测出的结果质量百分比严重偏 高，因为在 20KV 下其过压比高达 80 一般来说选择 10 倍过压比用于定量分析，20 倍过压比用于定性分析。高压 下做定性分析，根据结果再酌情做定量分析 对于我们的试样，推荐 20KV 的加 速 电压，特殊情况另做分析 2.2 取出角（take off angle） 定义 ：取出角为 X-射线脱离样品后飞向探测器的轨迹和样品表面之间的夹 角 1 影响因素：探头安装角度、样品工作距离（WD）和样品倾斜角（T 或者 Tilt，这 里假设样品表面平行样品台）。其中，探头安装角度是固定的，不同的 电镜探头 安装角度不同 WD 和 T 由我们自己调节，而 T 一般情况下均不调节，即 T ＝0 所以实际影像取出角的因素主要是 WD 取出角的变化直接影响到探测器接受信号的强弱，典型的角度范围为25 ~ 40 。当取出角处于一个合适值时，探测器接受到的信号最强，对应于 GENESIS 软件上就是计数率（CPS）最大 该取出角对应的 WD 值称之为标准值，WD 不在 标准值时、T 不为 0 时取出角都不为最佳值，即 CPS 不是最大 对应的 WD 和 T 对取出角的影响如图 1 所示 另外，取出角 采集角，采集角也叫立体采集角，由取出角和探头到样品的 距离共同决定。采集角是直接决定 CPS 的，对于我们的能谱仪来说探头到样品的 距离是固定的，而 T 一般不变化，所以直接决定 CPS 的是 WD 。我们的标准 WD 是 10mm 2 标准WD WD 标准值 取出角 取出角 实际取出角 标 Tilt 0 WD 标准值 取出角 实际取出角 标 取出角 实际取出角 标准值 图