精密检测核心技术试验参考指导书.docVIP

《精密测量技术》 试验指导书 田朝平 编 机械学院测控系 实 验 守 则 一、试验基础要求 1．试验前，必需认真预习试验指导书及教材中相关内容，熟悉仪器、设备及相关测量器具工作标准和初步了解操作要求。没有预习试验指导书学生不得进入试验室。 2．试验中对多种数据应会处理，并考虑怎样书写试验汇报；试验中出现误差或其它情况应进行分析说明。 二、试验须知 1．学生应在要求时间进入试验室。进入试验室后，注意保持试验室清洁和平静。 2．需要接电源仪器，需经老师同意后，方可接上电源。要小心操作，用力合适。 3．如发觉仪器有故障时，不得私自拆修，应立即汇报指导老师。 4．学生应主动动手操作，并独立完成试验和试验汇报。 5．试验完成后，将计量器具和被测工件整理好，并认真填写试验数据查后，方可离开试验室。 6．在要求时间内未能完成试验者，须经试验室领导同意，或延长试验时间或另行安排补做时间。 目录 一 长度基准测量 试验一、 用接触式干涉仪测量量块 试验二、 比长仪测量线纹尺 二 孔、轴测量 试验三、工具显微镜上用灵敏杠杆测量孔 试验四、光学比较仪测量轴 三 形状误差测量 试验五、用圆度仪测量零件圆度误差 试验六、用合像水平仪测量平板平面度误差 四 齿轮参数测量 试验七、用单基圆盘齿形误差测量仪测量齿轮齿形误差 一 长度基准测量 试验一、 用接触式干涉仪测量量块 一、试验目标 1、掌握相对法检定量块方法； 2、熟悉接触式干涉仪工作原理和使用方法； 3、掌握量块中心长度测量方法。 二、试验设备 接触式干涉仪、标准量块（二等量块）、被检量块（三等量块）及附件 三、仪器概述 （1） 结构原理 立式接触干涉仪是由干涉管、支架及可换测量工作台组成图1－1所表示。 干涉管是仪器关键部分，它由测量柱1、干涉箱2和观察管3组成。在测量柱端部测杆上能够装测帽 4及测杆提升器5，经过目镜8右边小手轮6转动,可使分划板作横向移动，扳动扳手7可使目镜绕一轴线摆动，方便观察到全部刻度尺。借助专用扳手转动干涉箱上带。“十”字槽螺钉时，能够改变干涉条纹宽度和方向。 松开螺钉17可将干涉仪物镜沿其轴向移动，从而达成调焦目标，当看看到清楚干涉条纹时，再用锣钉紧固。隔热板9作用是降低人体温度对工作台上员块影响。 支架部分是由稳定底座14支立柱13及悬臂10组成。干涉管安装在悬臂10孔中，并能用手轮11紧固，借助手轮12转动，可将悬臂连同干涉管上下移动。在底座前端能够安装多种工作台，转动手动15可使工作台微量升降，手轮16可使工作台紧固在所需位置上。 （2）仪器光学系统 图1－2是仪器光学系统。白 炽灯1所发出光线经透镜2会聚， 经过滤光片3（测量时拨开，定度时 加入）投射到分光镜4并分成两路： 一路经分光镜射向参考镜7另一路 经赔偿镜5射向和测杆11相连反 射镜6，由镜6和镜7形成平板干涉 。因为赔偿镜5作用，可使镜6 和镜7反射回来光产生对比度良 好零级(黑色)条纹，作为测量时使 用指标线。干涉现象由物镜8成 象十分划板9，经过目镜10可同时 图1－2 看到干涉条纹和分划板9上刻线。 因为被测尺寸改变，使测杆移动，从而引发干涉条纹移动。用干涉条纹相对分划板刻度尺移动量来指示测杆位移量。刻度尺上每一间隔所代表测杆位移量是在使用前依据测量需要来确定。 支架部分是由稳固底座14，立柱13及悬臂10组成。干涉管安装在悬臂孔中，并能用手11紧固，借助于手轮12 转动，可使悬臂连同干涉管上下移动。在底座前端能够安装多种工作台，装动手轮15可使工作台微量升降，手轮16可使工作台紧固在所需要位置上。 四、测量方法和步骤 （1）干涉带调整 通常情况，当测杆处于自由自由状态时，白光黑色干涉条纹在视场中可见，且在－50格周围，假如位置不对可经过调整螺钉将到正确位置上。 （2）检验测杆移动方向 观察测杆移动方向是否和干涉带相对和刻尺移动方向一致，当测杆上移时，干涉带应从负方向移向正方向。 （3）仪器定度 调整并确定分划板上刻度尺刻度值，叫作仪器定度。定度时需使用单色光，因单色光有确定波长值，每台接触式干涉仪所附滤光片，全部有其波长检定。把滤光片插入光路内，在目镜视场中就可看到明暗相间干涉条纹和标尺刻线。测杆沿轴向每移动λ/2距离时，干涉条纹相对标6尺刻线就移动一个条纹宽度，干涉条纹越宽，移动一个条纹宽度所扫过刻