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第五章 其他特种加工技术 5.1 激光加工技术 5.2 电子束和离子束加工 5.3 超声波加工技术 5.1 激光加工技术 1. 激光的特性 1) 强度高 2) 单色性好 3 ）相干性好 4) 方向性好 激光加工示意图 1 2 3 4 5 6 1— 3— 5— 1— 激 光 器 ； 2— 激 光 束 ； 3— 全 反 射 棱 镜 ； 4— 聚 焦 物 镜 ； 5— 工 件 ； 6— 工 作 台 2. 激光加工的原理与特点 1) 激光加工的原理 (1) 几乎对所有的金属和非金属材料都可以进行激光加工。 (2) 激光能聚焦成极小的光斑。 (3) 可用反射镜将激光束送往远离激光器的隔离室或其它地点 进行加工。 (4) 加工时不需用刀具，属于非接触加工，无机械加工变形。 (5) 无需加工工具和特殊环境，便于自动控制连续加工，加工 效率高，加工变形和热变形小。 2) 激光加工的特点 1) 激光器 2) 导光聚焦系统 3) 激光加工系统 3. 激光加工基本设备及其组成部分 4. 激光加工的应用 1 ）激光打孔 2) 激光切割 3) 激光打标 4) 激光焊接 5) 激光表面处理 平 面 镜 激 光 束 辅 助 气 体 钛 合 金 喷 嘴 聚 焦 透 镜 激 光 器 图 5-2 CO 2 气体激光器切割钛合金示意图 图 5-3 振镜式激光打标原理 激 光 束 光 束 准 直 振 镜 Y 轴 马 达 透 镜 图 5-4 激光焊接过程示意图 1 2 3 4 4 1— 激 光 ； 2— 被 焊 接 零 件 ； 3— 被 熔 化 金 属 ； 4— 已 冷 却 的 熔 池 图 5-5 激光表面强化处理应用实例 淬 硬 表 面 淬 硬 表 面 (a) 圆 锥 表 面 (b ) 铸 铁 凸 轮 轴 表 面 5.2 电子束和离子束加工 一、电子束加工 1. 加工原理 电 子 枪 系 统 聚 焦 系 统 电 子 束 工 件 抽 真 空 系 统 电 源 及 控 制 系 统 电子束加工原理 2 ．特点与应用 电子束加工的特点如下： 1) 电子束能够极其微细地聚焦 ( 可达 l ～ 0.1 μm) 。 2) 加工材料的范围广。 3) 加工在真空中进行，污染少，加工表面不易被氧化。 4) 电子束加工需要整套的专用设备和真空系统，价格较 贵，故在生产中受到一定程度的限制。 图 5-13 电子束加工的喷丝头异形孔 0.03 ～ 0.07 mm 图 5-14 电子束加工曲面、穿孔 1 3 2 3 (a ) (b ) (c ) (d ) 1— 工 件 ； 2— 工 件 运 动 方 向 ； 3— 电 子 束 二、离子束加工 1 ．加工原理 离子束加工也是一种新兴的特种加工，它的加工原理 与电子束加工原理基本类似，也是在真空条件下，将离 子源产生的离子束经过加速、聚焦后投射到工件表面的 加工部位以实现加工的。 离子束加工的物理基础是离子束射到材料表面 时所发生的撞击效应、溅射效应和注入效应。离子 束加工可分为四类。 1) 离子刻蚀 2) 离子溅射沉积 3) 离子镀 ( 又称离子溅射辅助沉积 ) 4) 离子注入 2 ．特点及应用 离子束加工有如下特点： (1) 离子束加工是目前特种加工中最精密、最微细的 加工。 (2) 离子束加工在高真空中进行，污染少。 (3) 离子束加工是靠离子轰击材料表面的原子来实现 的，是一种微观作用。 5.3 超声波加工技术 1 ．超声波加工的原理与特点 1) 加工原理 加 工 力 工 具 工 件 振 动 方 向 磨 料 ＋ 工 作 液 工 具 振 幅 超声波加工原理图 2) 特点 (1) 适合于加工各种硬脆材料。也可以加工淬火钢和硬质合金等 材料。 (2) 由于工具可用较软的材料、做成较复杂的形状。 (3) 加工时宏观切削力很小，不会引起变形、烧伤。 (4) 加工机床结构和工具均较简单，操作维修方便。 (5) 生产率较低。 2. 超声波加工设备 1 2 3 4 5 6 7 8 1— 冷 却 器 ； 2— 磨 料 悬 浮 液 抽 出 ； 3— 工 具 ； 4— 工 件 ； 5— 磨 料 悬 浮 液 送 出 ； 6— 变 幅 杆 ； 7— 换 能 器 ； 8— 高 频 发 生 器 超声波加工装置 1) 高频发生器 2) 声学部件 (a ) 锥 形 (b ) 指 数 形 (c ) 阶 梯 形 几种形式的变幅杆 3) 机床本体和磨料工作液循环系统 3 ．超声波加工的应用 超声波加工的生产率虽然比电火花、电解 加工等低，但其加工精度和表面粗糙度都比它 们好，而且能加工半导体、非导体的脆硬材料， 如玻璃、石英、宝石、锗、硅甚至金刚石等。 在实际生产中，超声波广泛应用于型 ( 腔 )