洁净室温湿度如何控制.docVIP

如何对洁净室温湿度进行控制 洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。净化工程具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料 的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径 100 um 的硅片，温度 洁净室的温湿度 主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求 的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。 净化工程具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要 求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。 直径 100 um 的硅片，温度上升 1 度，就引起了 0.24um 线性膨胀，所以必须有 ±0.1 度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因 为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过 25 度。 湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过 55% 时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事 故。相对湿度在 50% 时易生锈。此外，