同济大学压电传感器.pptVIP

电子与信息工程学院控制科学与工程系 三、 压电式传感器的测量电路 （一）等效电路 当压电传感器中的压电晶体承受被测机械应力的作用时，在 它的两个极面上出现极性相反但电量相等的电荷。可把压电传感 器看成一个静电发生器，如图 ( a ) 。也可把它视为两极板上聚集 异性电荷，中间为绝缘体的电容器，如图 ( b ) 。其电容量为 ＋＋＋＋ ―――― q q 电极 压电晶体 C a ( b ) ( a ) 压电传感器的等效电路 t S t S C r a 0 ? ? ? ? ? 当两极板聚集异性电荷时， 则两极板呈现一定的电压， 其大小为 a a C q U ? 电子与信息工程学院控制科学与工程系 因此，压电传感器可等效为 电压源 U a 和一个电容器 C a 的 串联 电路，如图 ( a ) ；也可等 效为一个电荷源 q 和一个电容 器 C a 的 并联 电路，如图 ( b ) 。 q C a U a U a ＝ q/ C a q ＝ U a C a C a （ a ）电压等效电路 （ b ）电荷等效电路 压电传感器等效原理 传感器内部信号电荷无“漏损”，外电路负载无穷大时，压电传 感器受力后产生的电压或电荷才能长期保存，否则电路将以某时 间常数按指数规律放电。这对于静态标定以及低频准静态测量极 为不利，必然带来误差。事实上，传感器内部不可能没有泄漏， 外电路负载也不可能无穷大，只有外力以较高频率不断地作用， 传感器的电荷才能得以补充，因此，压电晶体不适合于静态测量。 电子与信息工程学院控制科学与工程系 如果用导线将压电传感器和测量仪器连接时 , 则应考虑连线的等 效电容 , 前置放大器的输入电阻、输入电容。 C a R a C c R i C i q 压电传感器的 完整等效电路 C a 传感器的固有电容 C i 前置放大器输入电容 C c 连线电容 R a 传感器的漏电阻 R i 前置放大器输入电阻 可见，压电传感器的绝缘电阻 R a 与前置放大器的输入电阻 R i 相并 联。为保证传感器和测试系统有一定的低频或准静态响应，要求 压电传感器绝缘电阻应保待在 10 13 Ω 以上，才能使内部电荷泄漏减 少到满足一般测试精度的要求。与上相适应，测试系统则应有较 大的时间常数，亦即前置放大器要有相当高的输入阻抗，否则传 感器的信号电荷将通过输入电路泄漏，即产生测量误差。 电子与信息工程学院控制科学与工程系 （二） 测量电路 压电式传感器的前置放大器有两个作用： ? 把压电式传感器的高输出阻变换成低阻抗输出 ； ? 放大压电式传感器输出的弱信号 。 前置放大器形式： ? 电压放大器 ，其输出电压与输入电压（传感器的输出电压）成 正比； ? 电荷放大器 ，其输出电压与输入电荷成正比。 1 、电压放大器 － A － A C a C a R a R i C i C c C R U i U SC U SC U a ( a ) ( b ) U a 电子与信息工程学院控制科学与工程系 图（ b ）中，等效电阻 R 为 i a i a R R R R R ? ? ? a a C q U ? t F F m ? sin ? F m —— 作用力的幅值 压电元件所受作用力 C = C c + C i 而 等效电容为 若压电元件材料是压电陶瓷，其压电系数为 d 33 ，则在外力作用 下，压电元件产生的电压值为 a m a m C F d C q U 33 ? ? t U U m a ? sin ? U m —— 电压幅值 ? ? a i C C R j R j F d U ? ? ? ? ? 1 33 ? ? 由图 ( b ) 可得放大器输入端的电压 U i ，其复数形式为 电子与信息工程学院控制科学与工程系 ? ? 2 2 2 33 1 i c a m im C C C R R F d U ? ? ? ? ? ? U i 的幅值 U im 为 ? ? ? ? i c a C C C R ? ? ? ? ? ? ? arctan 2 ? ? i c a m m im C C C F d R F d U ? ? ? ? ? 33 2 0 33 1 ? ? ? 输入电压与作用力之间的相位差 φ 为 令 τ = R ( C a + C c + C i ) ， τ 为测量回路的时间常数，并令 ω 0 =1/ τ ，则 可得 可见，如果 ω/ω 0 1 ，即作用力变化频率与测量回路时间常数的 乘积远大于 1 时。前置放大器的输入电压 U im 与频率无关。一般认 为 ω/ω 0 ≥ 3 ，可近似看作输入电压与作用力频率无关。这说明， 在测量回路时间常数一定的条件下，压电式传感器具有相当好的 高频响应特性。 电子与信息工程学院控制科学与工程系 但是，当被测动态量变化缓慢