《李碧容》扩散车间的学习总结..pdfVIP

学习总结 尊敬的领导： 从2011年2月25号匆忙的从福州来到霞浦以及晚上前 往江西新余吉阳培训团队的车。经过一段时间的理论学习和 车间参观，最后我选择了扩散车间，这个制造太阳能电池核 心部分的车间。在这两个来月里，了解了公司的发展历史、 企业文化、公司的组织结构及配置及熟识了大部分的同事， 通过专业培训人员细心讲解、周边朋友相互探讨研究以及自 身的努力，对硅片扩散的原理、工艺流程、具体操作以及硅 片异常的处理和防范有了比较全面的了解。在此将这个学习 收获归纳总结如下： 1理论学习 扩散是硅片生产工艺流程的第二步骤，其原理就是三氯氧 磷在高温（大于600度）下分解生成五氯化磷和五氧化二磷， 生成的五氧化二磷在扩散温度下与硅反应，生成二氧化硅和 磷原子（且要有足够多的氧气，因为若没有外来的氧气参与 是不充分的，生成的五氯化磷是不易分解的，并对硅有腐蚀 作用，破坏硅片的表面状态，若有氧气，五氯化磷会进一步 分解成五氧化二磷和氯气） 。化学方程式： 5POCl === 3 3PCl + P O 4 POCl + 3O === 2P O + 6Cl 2P O + 5 2 5 , 3 2 2 5 2 , 2 5 5Si === 5SiO + 4P.扩散的目的就是制造 PN 结、吸杂和 2 提高少子寿命，在新余吉阳这边是通过磷扩散来完成的，其 制作太阳能电池的硅片是P型的。在有磷渗透的一面就形成 了N型，没有渗透的一面是P型。这样就在硅片内部形成了 所要的PN结。 扩散内部的流程：石英舟和炉管的清洗-石英舟和炉管饱 和-炉管升温-装片-进炉-升温-通氧气-稳定-通源-吹氮排气- 出炉-检验-卸片-转下道工序。对各个步骤做了全面的了解: (1)对于清洗，开始时，先开O2，再开TCA；清洗结束后， 先关TCA，再关O2。初次扩散前，扩散炉石英舟首先连接TCA 装置，当炉温升至设定温度，以设定流量通TCA60分钟清洗 石英管。清洗结束后，将石英管连接扩散源瓶，待扩散。正 常生产时，每周进行两次TCA清洗，时间30分钟。 (2)对于饱和，初次扩散前或停产一段时间以后恢复生产 时，需使石英管在950℃通源饱和1小时以上。如果不连续 生产,则每天正式生产前，须对石英管进行饱和,即正式的扩 散工艺,把石英舟放入石英管,进行一次扩散。炉温升至设定 温度时，以设定流量通小N2 （携源）和O2，使石英管饱和， 20分钟后，关闭小N2和O2。 (3)对于升温，打开大 N2,调节气体流量为 18-20L/分钟, 然后开始使炉子升温,升到 880-900℃.装片整个扩散全过程 中(从升温到出炉)一直通大氮。 (4)对于装片，戴好防护口罩和干净的塑料手套，将清洗 甩干的硅片从传递窗口取出，放在洁净台上。用 teflon 夹 子依次将硅片从硅片盒中取出，每槽两片插入石英舟。 (5)对于进炉，用舟叉将装满硅片的石英舟放在碳化硅臂 浆上，保证平稳，由步进电机缓缓推入扩散炉 ,进炉的时间 控制在5分钟左右。 (6)对于稳定，稳定炉管，大约 12 分钟,使炉管内达到充 分饱和。 (7)对于通氧气，稳定好后 ,打开氧气，其流量调节为 1.17L/分钟，通氧气时间大约为21分钟。 (8)对于通源（POCl3），通氧 21 分钟后(保持通氧到扩散 结束),打开小氮，小氮是携带扩散源的气体,调节其流量为 1.17L/分钟,通小氮的时间为12分钟。 (9)对于吹氮排气，通源12分钟后,关闭氧气和小氮,只通 大氮,流量还是保持 18-20L/分钟。 (10)对于出炉，一般为10min。 （11）对于检验，分为外观检验和方块电阻的检验。外观 检验，色泽方面的要求是表面颜色均匀，无偏磷酸滴落；物 理方面是对崩边缺口等机械缺陷的控制；还有弯曲度的检 验。方块电阻，每炉中取5片扩散后的硅片，用四探针测试 仪测量方块电阻，记录下测量数据 .扩散方块电阻控制在 40-80Ω/□之间,中心值 60Ω 。同一炉扩散方块电阻不均匀 度≤20%，同一硅片扩散方块